直拉式单晶炉PDE降维模型的生长界面温度控制

发布时间：2018-02-22 05:22

  本文关键词： 晶体生长 KL-Galerkin法 PDE模型分解 最优控制　出处：《过程工程学报》2017年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：基于抛物线型偏微分方程(PDE)研究了直拉式单晶炉中生长界面的温度控制,将Galerkin法应用于PDE的处理,求解中使用空间映射对较复杂形状的空间区域进行简化,并用Karhunen-Loève(KL)分解法求取经验特征方程;针对非齐次边界条件,设计了一种高效的模型分解方法,基于优化模型引入最优控制方法实现了温度控制,验证了模型的有效性.
[Abstract]:Based on parabolic partial differential equation (PDE), the temperature control of the growth interface in a Czochralski single crystal furnace is studied. The Galerkin method is applied to the processing of PDE, and the spatial mapping is used to simplify the space region with more complex shape. The empirical characteristic equation is obtained by Karhunen-Lo 猫 ve KL decomposition method, and an efficient model decomposition method is designed for non-homogeneous boundary conditions. The temperature control is realized by introducing the optimal control method based on the optimal model, and the validity of the model is verified.
【作者单位】： 北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院;山东大学机械科学与工程学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(编号:61327003)
【分类号】：O175.26;TN304.12
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本文编号：1523728