皮秒激光烧蚀K9玻璃后表面损伤研究

发布时间：2018-02-28 07:41

  本文关键词： 激光制造 后表面损伤 皮秒激光 烧蚀 K玻璃　出处：《中国激光》2017年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：考察了利用皮秒激光烧蚀切割K9玻璃过程中后表面的烧蚀损伤现象,比较了前、后表面的烧蚀特性,分析了激光能量密度、扫描次数和扫描速度等因素对后表面损伤的影响。根据后表面烧蚀形貌和质量,优化了激光单行单次扫描时的激光能量密度和扫描速度等参数。讨论了后表面烧蚀损伤的机理,提出了抑制后表面损伤的方法。实验结果表明,激光聚焦在前表面进行烧蚀切割时,后表面会出现严重的烧蚀损伤,且后表面烧蚀形貌和规律与前表面的显著不同。
[Abstract]:The ablative damage on the back surface of K9 glass was investigated by using picosecond laser ablation. The ablation characteristics of the front and rear surfaces were compared, and the laser energy density was analyzed. According to the ablation morphology and quality of the back surface, the laser energy density and scanning speed are optimized. The mechanism of the ablation damage on the back surface is discussed. The experimental results show that there will be severe ablation damage on the front surface when laser focus is focused on the front surface, and the ablation morphology and law of the rear surface are different from those of the front surface.
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室;中国科学院大学;
【基金】：脉冲功率激光技术国家重点实验室开放研究基金(SKL2014KF05) 中国科学院高功率激光物理重点实验室基金(CXJJ-16S040)
【分类号】：TQ171.68;TN249

【参考文献】

相关期刊论文 前1条

1 王禹茜;张军战;刘永胜;杨小君;李玮楠;王春辉;;飞秒激光工艺参数对加工TiC陶瓷微孔的影响[J];中国激光;2014年10期

【共引文献】

相关期刊论文 前5条

1 王鹏;张凤林;刘文广;欧阳承达;;CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究[J];激光与光电子学进展;2016年11期

2 张飞虎;李琛;孟彬彬;赵航;刘忠德;;基于变切深纳米刻划的K9玻璃表面成形特征及去除机制研究[J];机械工程学报;2016年17期

3 董世运;刚肖;闫世兴;王斌;;基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望[J];装甲兵工程学院学报;2016年03期

4 任乃飞;张文;王后孝;夏凯波;张丽;王琪琪;;基于正交实验的20Cr13板材脉冲激光打孔工艺优化[J];激光与光电子学进展;2016年03期

5 任乃飞;夏凯波;王后孝;;5052铝合金板材脉冲激光打孔成形规律的研究[J];激光与光电子学进展;2015年12期

【二级参考文献】

相关期刊论文 前10条

1 夏博;姜澜;王素梅;闫雪亮;刘鹏军;;飞秒激光微孔加工[J];中国激光;2013年02期

2 邵明东;郭疆;孙继明;;碳化硼陶瓷电火花小孔加工精度的工艺研究[J];光机电信息;2011年12期

3 姜涛;赵清亮;董志伟;樊荣伟;于欣;;飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究[J];红外与激光工程;2010年06期

4 罗志海;杨润泽;;工程陶瓷加工技术的现状与发展[J];机械制造;2010年12期

5 余伟;王西昌;巩水利;毛智勇;;快速扫描电子束加工技术及其在航空制造领域的潜在应用[J];航空制造技术;2010年16期

6 贾振元;任小涛;刘巍;郑新毅;;大深径比微小孔快速电火花加工系统[J];光学精密工程;2009年12期

7 古文才;郭钟宁;于兆勤;刘小康;;微细阵列孔加工技术及其应用[J];机电工程技术;2008年10期

8 ;Titanium carbonitride thick coating prepared by plasma spray synthesis and its tribological properties[J];Chinese Science Bulletin;2007年13期

9 何飞;程亚;;飞秒激光微加工:激光精密加工领域的新前沿[J];中国激光;2007年05期

10 王玉英;;利用飞秒激光器进行精密加工的研究动向与未来展望[J];光机电信息;2007年03期

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 刘劲松，李孟秋;调Q激光烧蚀具有升华特性物质的模型及应用[J];光学精密工程;1996年04期

2 王猛;汤文辉;;连续激光烧蚀效应数值模拟方法研究[J];安徽理工大学学报(自然科学版);2006年04期

3 茆军兵;李洋;程黎鹿;周惟公;郑志远;;激光烧蚀推进的研究现状及进展[J];中国科技信息;2008年04期

4 姚顺春;陆继东;卢志民;谢承利;李捷;潘圣华;蒋梅城;李娉;;样品形态对燃煤的激光烧蚀特性影响分析[J];光学学报;2009年04期

5 潘大任;激光烧蚀刻蚀过程的实时监测技术研究[J];中国激光;1989年05期

6 范永昌;613《准分子激光烧蚀进行材料断面元素分布分析技术研究》[J];激光杂志;1995年05期

7 李力钧,刘劲松,洪蕾,金湘中;三维激光烧蚀加工的精度控制[J];应用激光;1998年04期

8 叶文华,张维岩,陈光南,贺贤土;激光烧蚀瑞利-泰勒不稳定性数值研究[J];强激光与粒子束;1999年05期

9 宫琳琳;李爽;;浅谈激光烧蚀技术的应用及研究进展[J];科技资讯;2014年04期

10 李三伟,冯杰,丁永坤,温树槐,何海恩,丁耀南,成金秀,王大海,郑志坚,杨向东,程新路;强激光烧蚀平面靶的实验研究[J];原子与分子物理学报;2000年02期

相关会议论文 前10条

1 韩美;胡净宇;;激光烧蚀电感耦合等离子体质谱技术及其应用进展[A];第七届(2009)中国钢铁年会论文集（下）[C];2009年

2 王立君;赵伊君;漆海滨;周辉;刘泽金;陈雨生;刘晶儒;赵学庆;谢永杰;;复合材料的强激光烧蚀研究概述[A];第9届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集[C];1998年

3 杨家敏;丁耀南;杨国洪;张保汉;江少恩;张文海;王耀梅;郑志坚;;0．351μm激光烧蚀铝特性实验[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年

4 南宝江;张钢锤;吴平;马喜梅;平丽;张晓卫;;含能工质激光烧蚀推进效率分析[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）[C];2007年

5 孙顺凯;陈发良;;激光烧蚀金属熔融和汽化的数值计算方法研究[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集（下）[C];2005年

6 朱晓农;张楠;吴泽华;于洋;;飞秒激光烧蚀的三步曲——超短脉冲激光作用下固体靶材烧蚀演化过程的分析与理解[A];第十届全国光电技术学术交流会论文集[C];2012年

7 孙玉琴;顾援;周关林;傅思祖;王琛;吴江;王伟;董佳钦;;激光烧蚀“印痕”测量系统[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年

8 朱晓农;;飞秒激光烧蚀作用下固体靶物质发生喷射的主要特征[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年

9 胡浩丰;王晓雷;吉阳;胡阳;丁晓雁;刘贤文;郭静慧;翟宏琛;;强飞秒激光烧蚀金属铝的热效应分析[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

10 叶文华;;激光烧蚀RT不稳定性大变形及混合的高分辨数值模拟[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年

相关博士学位论文 前9条

1 李干;脉冲激光辐照聚合物工质烧蚀推进机理与性能优化研究[D];国防科学技术大学;2014年

2 袁红;激光烧蚀固体材料引起力学效应的数值模拟研究[D];中国工程物理研究院;2011年

3 范征锋;激光烧蚀瑞利—泰勒不稳定性研究[D];天津大学;2008年

4 王丽梅;飞秒激光烧蚀硅的分子动力学模拟[D];国防科学技术大学;2008年

5 房然然;高能激光烧蚀靶材动力学研究[D];华中科技大学;2009年

6 金方圆;短脉冲激光烧蚀理论及楔条形阳极加工方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2015年

7 王新林;飞秒激光烧蚀金属材料特性与微零件制备研究[D];华中科技大学;2007年

8 肖青梅;托卡马克类ITER第一壁材料激光烧蚀光谱和质谱研究[D];大连理工大学;2014年

9 卢渊;导向沉积富集与fs-ns双脉冲激发LIBS增强方法研究[D];中国海洋大学;2013年

相关硕士学位论文 前10条

1 王晓勇;基于GAP含能靶带的激光烧蚀微推进技术研究[D];南京理工大学;2015年

2 郭荣基;不同介质中激光烧蚀微冲量耦合特性实验研究[D];河南师范大学;2015年

3 刘进明;激光烧蚀产生的高电荷态Al离子光谱特性研究[D];西北师范大学;2015年

4 赵爽;kHz重频激光烧蚀等离子体助燃研究[D];哈尔滨工业大学;2016年

5 余艺平;低温熔渗反应制备W/ZrC金属陶瓷的高温演变及激光烧蚀特性研究[D];国防科学技术大学;2014年

6 马靖;281.5-285.5nm区金属样品中铁元素共振激光烧蚀实验研究[D];安徽师范大学;2003年

7 龙城德;小焦斑纳秒激光烧蚀铝靶的数值模拟[D];中国科学技术大学;2014年

8 王猛;连续激光烧蚀效应数值模拟研究[D];国防科学技术大学;2003年

9 高海燕;液相环境下飞秒激光烧蚀金属靶材的机理[D];华中科技大学;2011年

10 李霞芬;激光烧蚀—脉冲放电等离子体电子数密度和温度特性研究[D];浙江师范大学;2012年

，

本文编号：1546382