日盲探测宽波段低噪声滤波器件的研制

发布时间：2018-03-04 06:19

  本文选题：薄膜　切入点：滤光膜　出处：《中国激光》2017年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为满足日盲探测系统的技术要求,研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性,结合光学薄膜理论,优化膜系结构,设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束加热蒸发的方法沉积金属膜,通过对沉积速率的实验研究,在保证金属光学性能的前提下,有效降低了膜厚控制误差。采用逆向反演法与膜层敏感度分析,对谐振层工艺参数进行优化,有效降低了谐振层的控制误差。该滤光膜在200~270nm波段的平均透射率达到51.21%,在300~1200nm抑制区的平均透射率为0.90%。
[Abstract]:In order to meet the technical requirements of the solar blind detection system, a kind of optical filter, which can realize the high transmission of ultraviolet solar blind area (200nm) and the near ultraviolet to near infrared region (300nm), has been developed. By analyzing the optical properties of the material and combining with the theory of optical thin film, The structure of the film system is optimized and the film system of the combination of the medium and the metal is designed. The metal film is deposited by the method of electron beam heating evaporation. Through the experimental study of the deposition rate, the optical properties of the metal are guaranteed. The reverse inversion method and the sensitivity analysis are used to optimize the process parameters of the resonant layer. The control error of the resonant layer is reduced effectively. The average transmittance of the filter film is 51.21 at 200 nm and 0.90 at 300 ~ 1200 nm.
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;
【基金】：吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX)
【分类号】：O484;TN713

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本文编号：1564485