基于后焦面成像的聚合物平面波导光学参数测量仪

发布时间：2018-03-10 03:04

  本文选题：波导光学　切入点：后焦面成像　出处：《量子电子学报》2017年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：基于后焦面成像确定波导传播特性的基本原理,结合平面波导中的菲涅尔反射理论,设计了一种聚合物平面波导光学参数测量仪。通过MATLAB拟合处理数据实现了对样品局部折射率和厚度高精度、高空间分辨率的实时测量,平面波导厚度测量精度可以达到纳米量级,空间分辨率可达到300 nm。该测量仪结构简单、易于操作,在光学传感和细胞内生物传感领域具有很高的应用价值。
[Abstract]:Based on the basic principle of determining the propagation characteristics of waveguides by posterior focal plane imaging, combined with Fresnel reflection theory in planar waveguides, A polymer planar waveguide optical parameter measuring instrument is designed. The real time measurement of the local refractive index and thickness of the sample is realized by MATLAB fitting and processing data, which has high spatial resolution and high precision. The measurement precision of planar waveguide thickness can reach nanometer order and the spatial resolution can reach 300 nm. The instrument is simple in structure and easy to operate. It has high application value in the field of optical sensing and intracellular biosensor.
【作者单位】： 中国科学技术大学光学与光学工程系安徽省光电子科学与技术重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金,11374286,61427818 国家科技部973项目,2013CBA01703 安徽省杰青青年科学基金,1608085J02~~
【分类号】：TN252

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本文编号：1591459