无铅压电叠层驱动器极化工艺及驱动性能研究

发布时间：2018-03-13 04:17

  本文选题：无铅压电陶瓷　切入点：正交实验　出处：《压电与声光》2017年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为提升Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3-K_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3(NBT-KBT)系无铅压电陶瓷压电性能,开发新型无铅压电叠层驱动器,该文采用单因素方差分析与正交试验设计方法优化研究了0.8NBT-0.2KBT压电陶瓷的极化工艺,最优极化工艺为极化电场6kV/mm,极化温度70℃,极化时间50 min,保压时间21 min,测得压电系数d33达到108pC/N;制备了无铅陶瓷叠层驱动器,并基于三角放大原理和柔性铰链结构设计一种新型外置放大机构,分别对有无外置放大机构的叠层驱动器微位移量进行对比测试,结果表明,与有外置放大机构的叠层驱动器相比,直接驱动的叠层驱动器位移量放大了3.7倍,在150V驱动电压下位移量达到25μm。这种无铅压电陶瓷驱动器具有大位移量、稳定性及低成本等特性,有望应用于微精密定位系统领域。
[Abstract]:In order to improve the piezoelectric properties of lead-free piezoelectric ceramics, a new type of lead-free piezoelectric laminated actuator was developed in order to improve the piezoelectric properties of the lead-free piezoelectric ceramics in the Naji-0.5Bihe, 0.5TiO3-TiO3-KBT.The polarization process of 0.8NBT-0.2KBT piezoelectric ceramics was optimized by means of single-factor variance analysis and orthogonal test design. The optimum polarization process is as follows: polarization electric field 6 kV / mm, polarization temperature 70 鈩，

本文编号：1604767