光泵浦Si衬底GaN基回音壁模式微盘谐振腔激光器

发布时间：2018-03-13 13:34

本文选题：GaN　切入点：微盘　出处：《半导体光电》2017年05期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：氮化镓基微盘结构光学谐振腔具有波长选择范围宽、模式体积小和激射阈值低等特点,其在腔量子电动力学、低阈值激光器、生物传感器等方面具有重要的研究价值。通过优化制备微盘的干法刻蚀工艺及选择性湿法腐蚀技术,制备出侧壁陡峭且光滑的高Q值Si衬底GaN基回音壁模式微盘谐振腔,该微盘谐振腔的制备工艺简单、表面损伤小。在室温、266nm短波长激光泵浦条件下,微盘谐振腔激光器实现了激射,阈值为2.85MW/cm2,Q值达到2 161。
[Abstract]:The optical resonator with gallium nitride microdisk structure has the characteristics of wide wavelength selection range, small mode volume and low emission threshold. It is used in cavity quantum electrodynamics, low threshold laser, etc. Biosensor has important research value. By optimizing the dry etching technology and selective wet etching technology, a high Q Si substrate GaN based echo wall mode microdisk resonator with steep and smooth sidewall is fabricated. The fabrication process of the microdisk resonator is simple and the surface damage is small. Under the condition of short wavelength laser pumping at room temperature of 266nm, the laser of the microdisk resonator can realize the laser with a threshold of 2.85 MW / cm ~ (2) Q value of 2161.
【作者单位】：中山大学电子与信息工程学院光电材料与技术国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(61574173,61274039) 国家重点研发计划项目(2016YFB0400100) 广东省对外科技合作项目(2013B051000041) 广州市科技计划项目(2016201604030055) 佛山市科技计划项目(201603130003)
【分类号】：TN248

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