飞秒激光直写制备内嵌微透镜、能源器件及生物传感器的研究进展
本文选题:激光制造 切入点:激光直写 出处:《中国激光》2017年01期 论文类型:期刊论文
【摘要】:飞秒激光具有超短脉宽和极高峰值强度,已广泛应用于精细加工与微纳制造领域。目前,激光直写技术用于柔性器件的制备受到极大的关注。综述了激光直写技术的四个研究方向:1)激光直写微透镜用于广角成像;2)激光制备纳米金/还原氧化石墨烯微超级电容器;3)聚酰亚胺基体上多层超级电容器的制备;4)电容生物传感器的激光制备。同时介绍了本课题组开展的相关研究工作,可为激光直写制备微纳结构器件的研究与应用及未来发展方向提供参考。
[Abstract]:Femtosecond laser with ultrashort pulse width and extremely high peak intensity has been widely used in the fields of fine processing and micro-nano manufacturing. The fabrication of flexible devices using laser direct-writing technology has attracted great attention. The four research directions of laser direct-writing technology are summarized: (1) Laser direct-writing microlens used in wide-angle imaging: (2) Laser fabrication of nanocrystalline gold / reduced graphene oxide. Fabrication of multilayer supercapacitors on polyimide substrate. Laser fabrication of capacitive biosensors. It can be used as a reference for the research and application of laser direct-writing microstructures and their development in the future.
【作者单位】: 北京工业大学激光工程研究院;田纳西大学机械航空与生物医疗工程系;四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所;光学辐射重点实验室;
【基金】:美国田纳西大学科研启动基金 北京市重点项目(KZ20141000500) 国家自然科学基金面上项目(51575016) 中国国家留学基金委项目(201506240097) 美国能源部橡树岭国家实验室合作基金(R011373616)
【分类号】:TN249
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本文编号:1609387
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