ICP刻蚀优化及在多波长分布反馈式激光器阵列中的应用

发布时间：2018-03-15 06:38

  本文选题：激光器　切入点：分布反馈式激光器阵列　出处：《激光与光电子学进展》2017年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：研究了CH_4/H_2/Cl_2感应耦合等离子体刻蚀技术中的关键工艺参数对刻蚀性能的影响。通过对CH_4/H_2/Cl_2气体流量及流量比的优化,在自行设计的InP/InGaAlAs多量子阱结构的外延片上,实现了一种高速低损耗、形貌良好的Bragg光栅制作方法。基于优化后的工艺参数制作了多周期结构的λ/4相移光栅,实现了单片集成的四波长1.3μm分布反馈式激光器阵列。该激光器阵列中激光器的阈值电流典型值为11mA,外微分效率可达0.40 W/A,且实现了边摸抑制比大于46dB的稳定的单纵模激光输出。研究结果表明优化后的ICP光栅刻蚀工艺具有良好的刻蚀精度和可靠性。
[Abstract]:The influence of key process parameters on the etching performance of CH_4/H_2/Cl_2 inductively coupled plasma etching technology is studied. By optimizing the flow rate and flow ratio of CH_4/H_2/Cl_2, a self-designed InP/InGaAlAs multiquantum well structure epitaxial wafer is developed. A high speed and low loss Bragg grating with good morphology is realized. Based on the optimized process parameters, a multi-period 位 / 4 phase-shifted grating is fabricated. A monolithic integrated four-wavelength 1.3 渭 m distributed feedback laser array is implemented, in which the threshold current of the laser is 11 Ma, the external differential efficiency can reach 0.40 W / A, and the edge-groping rejection ratio is more than 46 dB. The results show that the optimized etching process of ICP grating has good etching accuracy and reliability.
【作者单位】： 北京邮电大学电子工程学院;太原理工大学信息工程学院;武汉电信器件有限公司;深圳清华大学研究院;
【基金】：国家高技术研究发展计划(2015AA016901)
【分类号】：TN248.4

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 汪灵;李彩侠;王艳;徐进勇;段炯然;党陈萍;;高纯石英质量的ICP检测技术研究与应用[J];光谱学与光谱分析;2013年06期

2 韩晓军;;ICP测定水泥样品中各组分的研究[J];中国非金属矿工业导刊;2013年03期

3 P.W.J.M.鲍曼斯,J.J.A.M.富拉京,邱德仁 ,王林根;ICP-原子发射光谱分析:光谱分辨率和分析特性(续)[J];光谱学与光谱分析;1986年06期

4 张兴梅;ICP—AES法测定钢铁中铝及微量锆、钛、铌的试验研究[J];哈尔滨师范大学自然科学学报;2001年01期

5 姚佳;王莉丽;刘连利;赵丽娜;李庆玲;;ICP—OES法测定锦州某铁合金厂附近水、土壤、玉米中重金属含量[J];渤海大学学报(自然科学版);2007年03期

6 张静,沈澜,邱德仁;稀土元素(镝、钬、铒、铥、镱、镥、钇和钪)高分辨率ICP光谱谱线表与光谱图的编制[J];复旦学报(自然科学版);1998年03期

7 樊天益;新型ICP光源雾化器喷口的工艺讨论[J];岩石矿物及测试;1984年01期

8 蒋文艳;ICP光谱法测定硅酸盐岩石中27个元素——介绍硫载体缓冲剂[J];岩石矿物及测试;1984年03期

9 ;《ICP摄谱法检出限》的讨论[J];光谱学与光谱分析;1985年03期

10 Tetuya Masuda,Yoshihisa omori,王芬蒂;稀土元素的ICP发射光谱分析[J];光谱学与光谱分析;1985年06期

相关会议论文 前10条

1 周冀英;贾建平;王磊;张拥波;彭国光;;闪光视觉诱发电位无创监测ICP的临床应用研究[A];中华医学会第七次全国神经病学学术会议论文汇编[C];2004年

2 陈小宝;;微波消解-ICP方法测土壤中的重金属[A];2013中国环境科学学会学术年会论文集（第五卷）[C];2013年

3 宫海滨;苏景力;;氧化型低密度脂蛋白对大鼠血浆PICP及心肌胶原容积分数的影响[A];中国微循环学会2011年全国学术会议论文汇编[C];2011年

4 蒋宏贵;刘俊宁;;电感耦合等离子直读光谱仪(ICP)在检验小口径步枪枪弹中应用[A];加入WTO和中国科技与可持续发展——挑战与机遇、责任和对策（下册）[C];2002年

5 杜艳;;铜合金中砷、锑、铋的测定——ICP—AES法[A];陕西省机械工程学会理化检验分会第八届年会论文集[C];2009年

6 赵军;赵国虎;张浩波;梁慧光;杨晰;刘海涛;;ICP测定兰州市安宁区蔬菜地土壤重金属含量及其评价[A];甘肃省化学会第二十七届年会暨第九届甘肃省中学化学教学经验交流会论文摘要集[C];2011年

7 曾绍娟;周保初;于维汉;牧野秀夫;;ICP测试克山病人头发中20种元素含量[A];中国营养学会首届微量元素专题讨论会论文摘要汇编[C];1985年

8 徐军;;后牙冠ICP的鉭接触设计[A];第六次全国口腔修复学学术会议论文摘要汇编[C];2009年

9 王向阳;崔东艳;丁少华;付兰征;孟丽丽;;ICP分析用多元素标准溶液的研制[A];山东省金属学会理化检验学术委员会理化检验学术交流会论文集[C];2009年

10 焦炎;胡海宏;;ICP—OES法测定铀钛合金中钛等5种杂质元素[A];中国核科学技术进展报告——中国核学会2009年学术年会论文集（第一卷·第4册）[C];2009年

相关重要报纸文章 前10条

1 邱颖;江北区统计局借力ICP提高统计能力[N];中国信息报;2012年

2 本报通讯员杨伟;贵州总队ICP项目有关人员赴四川“取经”[N];中国信息报;2011年

3 杨景辉 国家统计局铁岭调查队;ICP消费拆分，诠释幸福不可或缺[N];中国信息报;2012年

4 本报记者 王峻峰;宽带ICP等待阳光[N];江苏经济报;2001年

5 记者 李晶晶;中国摄影师将有机会角逐ICP无限奖[N];中国摄影报;2007年

6 杰逊;一个ICP牌照引发的轩然大波[N];中国计算机报;2006年

7 谭章禄 季建伟 代亚男;宽带给ICP新的机会[N];中国计算机报;2001年

8 海伦;宽带，，ICP的新希望[N];中国电子报;2001年

9 本报记者 顾汶;邮箱收费ICP心中永远的痛[N];中国高新技术产业导报;2001年

10 仲羽;互联网秩序治理引发网站“生死劫” 网站托管服务商开始发放ICP许可证[N];中华新闻报;2004年

相关博士学位论文 前2条

1 陈永胜;ICP社会责任与网民消费理智的相关关系研究[D];西南交通大学;2011年

2 高阳;基于ICP工艺的硅基复杂微纳结构制备[D];华中科技大学;2013年

相关硕士学位论文 前10条

1 吴明智;ICP增强的CCP放电实验的光谱诊断研究[D];苏州大学;2015年

2 黄娜娜;ICP单道扫描光谱仪下位机的设计与研制[D];西安电子科技大学;2015年

3 赵蕾;地球化学样品中铌、钽的ICP检测技术研究与应用[D];吉林大学;2016年

4 邓晶;茵陈蒿对ICP大鼠治疗作用的实验研究[D];湖北中医学院;2009年

5 李冰;基于SUN WIT技术的ICP基础架构设计与实施[D];北京交通大学;2008年

6 杨深;感应耦合等离子体（ICP）光源放电模拟的研究[D];复旦大学;2013年

7 楼巧兰;ICP扫描光谱仪的研发[D];天津大学;2008年

8 王超;ICP光源中阻抗匹配的研究[D];中国地质大学;2010年

9 涂开光;茶叶不同产地特性的ICP光谱分析[D];河北大学;2011年

10 程贤鹦;ICP胎儿总胆汁酸浓度与胎儿胰腺内分泌功能变化关系及对胎儿生长发育的影响[D];中南大学;2008年

本文编号：1614903