激光技术制备微流道的研究

发布时间：2018-03-18 15:50

  本文选题：YAG雷射　切入点：微流道　出处：《激光杂志》2017年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：采用YAG雷射制程技术制备微流道,不但处理速度快、低污染、低耗费,硅芯片经YAG雷射表面处理后呈现微流道,实验得出雷射光斑直径受频率及电流强度所控制,随着频率减少及电流强度增加而变大,微流道宽度随着频率减少及电流强度增加而变宽,扫描速度对微流道宽度无明显影响。微流道深度随着频率及电流强度增加而变深,随着扫描速度增加而变浅。微流道热影响区在各制程参数下,其影响的变化差异并不明显,微流道表面粗糙度随着频率及电流强度的增加而变大,随着扫描速度的增加而降低,最佳制程参数为扫描速度10mm/s、电流10A及频率1KHz,其微流道表面及轨迹最为平整,且几何形r雷罴选，

本文编号：1630251