高功率固体激光器中大口径光学器件波前误差的建模及控制方法
本文选题:激光器 切入点:高功率固体激光器 出处:《光学学报》2017年07期
【摘要】:从惯性约束聚变系统高功率固体激光驱动器中具有典型意义的大口径激光传输反射镜的装配结构及其面形精度特点出发,对其波前误差进行了精细化建模分析,分别研究了粗糙度、纹波度和轮廓度的波前误差模型。在此基础上,进一步针对如何在装校过程中将装配应力产生的波前误差控制在合理范围内的问题,提出了方均根梯度与峰谷值相结合的波前误差评价和控制方法,并通过实验验证了其可行性,以期为我国神光-III主机装置大口径反射镜装校过程中波前误差控制提供科学指导方法。
[Abstract]:Based on the assembly structure and surface precision characteristics of large aperture laser transmission mirror in high power solid-state laser driver of inertial confinement fusion system, the wave front error is modeled and analyzed in detail. The wave-front error models of roughness, ripple degree and contour are studied respectively. On this basis, the problem of how to control the wave-front error caused by assembly stress in a reasonable range in the course of assembling and calibrating is discussed. A method to evaluate and control the wavefront error by combining the square root gradient with the peak and valley value is proposed, and the feasibility of the method is verified by experiments. The aim is to provide a scientific guidance method for the control of wavefront error in the process of large aperture mirror mounting and calibration of the Shenguang-III mainframe device in China.
【作者单位】: 清华大学机械工程系;
【基金】:国家自然科学基金(51575310)
【分类号】:TN248.1
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