光学材料亚表面损伤的表征与检测技术的研究进展

发布时间：2018-04-18 10:33

  本文选题：材料 + 亚表面损伤　； 参考：《激光与光电子学进展》2017年10期

【摘要】：亚表面损伤(SSD)的系统表征和准确检测是控制光学材料加工表层损伤的关键。将SSD的表征方法和检测技术相结合,综述了光学材料SSD检测评价方法的研究进展;分析了超精密加工产生的SSD结构和表征参量;针对SSD的几何表征参量,介绍了几种典型的损伤性检测技术及其技术特点和适用范围;重点介绍了几种满足超精密加工检测要求的无损伤检测技术,并分析了其技术优势和发展瓶颈;对比了国内外SSD的表征与检测技术水平,并对SSD检测技术的发展趋势进行了展望。
[Abstract]:The systematic characterization and accurate detection of subsurface damage (SSD) is the key to control the surface damage of optical materials.The research progress of SSD detection and evaluation methods for optical materials is reviewed by combining the characterization method of SSD with detection technology. The structure and characterization parameters of SSD produced by ultra-precision machining are analyzed. The geometrical characterization parameters of SSD are analyzed.This paper introduces several typical damage detection techniques, their technical characteristics and application scope, emphatically introduces several non-damage detection technologies which meet the requirements of ultra-precision machining inspection, and analyzes their technical advantages and development bottlenecks.The characterization and detection technology level of SSD at home and abroad are compared, and the development trend of SSD detection technology is prospected.
【作者单位】： 浙江工业大学机械工程学院;浙江师范大学工学院;
【基金】：国家自然科学基金面上项目(11672356) 浙江省教育厅一般科研项目(Y201636134)
【分类号】：TN204

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本文编号：1767991