IGZO TFT详解

发布时间：2018-05-01 07:41

  本文选题：铟镓锌氧化物薄膜晶体管 + 迁移率　； 参考：《光电子技术》2016年04期

【摘要】：论述了IGZO TFT技术的背景、技术优势和应用。详细介绍了IGZO TFT的结构,性能和生产工艺,并对IGZO TFT生产线存在的问题和发展趋势做出了展望。
[Abstract]:The background, technical advantages and application of IGZO TFT technology are discussed. The structure, performance and production process of IGZO TFT are introduced in detail, and the problems and development trend of IGZO TFT production line are prospected.
【作者单位】： 南京中电熊猫平板显示科技有限公司战略情报部;
【分类号】：TN321.5

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本文编号：1828397