石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究

发布时间：2018-05-03 03:15

  本文选题：石英微机械 + 陀螺　； 参考：《压电与声光》2017年03期

【摘要】：石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进行了结构解耦设计仿真,分析了芯片安装区对检测音叉振动特性的影响。通过解耦设计,减小了零偏误差信号,提高了陀螺敏感芯片的稳定性。
[Abstract]:The quartz micro - mechanical gyro sensitive chip usually adopts a double - end tuning fork structure , and the vibration coupling error of the driving fork and the detection tuning fork is the main error source . The structure decoupling design simulation is carried out on the sensitive chip of the double - end tuning fork structure gyro , and the influence of the chip mounting area on the detection of the vibration characteristics of the tuning fork is analyzed .

【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十六研究所;
【分类号】：TN402;TN96

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本文编号：1836722