薄膜体声波滤波器的发展现状

发布时间：2018-05-03 04:23

  本文选题：薄膜体声波谐振(FBAR)滤波器 + 发展趋势　； 参考：《压电与声光》2017年02期

【摘要】：薄膜体声波谐振(FBAR)滤波器具有体积小,性能高,一致性及可制造性好等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。通过对FBAR技术的基本原理和器件结构,讨论了FBAR技术的现状及发展趋势,表明其未来向宽带化,高功率化,高温度稳定性及小型化等方向发展。
[Abstract]:The thin film acoustic wave resonance (FBAR) filter has the advantages of small size, high performance, good consistency and good manufacturability. The related products have been widely used in the mobile communication market. Through the basic principle and device structure of FBAR technology, the status and development trend of FBAR technology are discussed, which show that the future to broadband, high power, high temperature stability. Development in the direction of qualitative and miniaturization.

【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十四研究所;中机中联工程有限公司;中国电子科技集团公司第二十六研究所;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【基金】：总装预研基金资助项目
【分类号】：TN713;TN65

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本文编号：1836960