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矩形孔径主动自由曲面变形数据拟合

发布时间:2018-05-14 20:52

  本文选题:Zernike多项式 + 矩形孔径 ; 参考:《光电工程》2016年12期


【摘要】:折反式深紫外光刻物镜采用反射镜为主动自由曲面,补偿系统热像差。一些物镜系统要求反射镜的通光孔径为矩形。出于描述反射镜主动变形的目的,需要采用矩形区域正交的多项式拟合变形数据。高精度的拟合要求需要获得高阶的多项式表达式。本文根据正交多项式的性质,推导了矩形正交多项式的通式并列出前36项多项式的表达式。应用该多项式对主动自由曲面的变形数据进行拟合。结果表明,变形均方根值(RMS)在2 nm~5 nm范围内,最小拟合残差可达0.024 nm。根据拟合残差面形的特点,可以对主动自由曲面的结构设计改进。
[Abstract]:The reflector is used as the active free surface to compensate the thermal aberration of the system. Some objective systems require the aperture of the reflector to be rectangular. For the purpose of describing the active deformation of the mirror, the orthogonal polynomial of rectangular region should be used to fit the deformation data. High-order polynomial expressions are required for high-precision fitting. In this paper, according to the properties of orthogonal polynomials, the general expressions of rectangular orthogonal polynomials are derived and the expressions of the first 36 polynomials are listed. The polynomial is used to fit the deformation data of active free surface. The results show that the minimum fitting residuals can reach 0.024 nm in the range of 2 nm~5 nm. According to the feature of fitting residual surface, the structural design of active free surface can be improved.
【作者单位】: 中国科学院光电技术研究所;
【分类号】:TN305.7

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本文编号:1889420


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