大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律

发布时间：2018-05-20 08:12

  本文选题：大面积纳米压印 + 揭开式脱模　； 参考：《中国机械工程》2017年04期

【摘要】：针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律。
[Abstract]:In view of the large area nano-imprint demoulding process, the mechanism and law of open-type demoulding have been studied. Based on the theory of interfacial adhesion energy, the model of gas assisted open demoulding force prediction is established, and based on the strain energy method and the law of conservation of energy in the process of demoulding, the critical demoulding speed model of gas assisted open demoulding is established. By using the ABAQUS engineering numerical simulation software, the influence of the process parameters (demoulding force, demoulding angle and demoulding speed) on the unclamped demoulding is analyzed.
【作者单位】： 青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(91023023,51375250) 青岛市创业创新领军人才计划资助项目(13-CX-18)
【分类号】：TN305

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