用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统

发布时间：2018-06-01 09:28

  本文选题：激光技术 + 平板显示　； 参考：《激光技术》2016年03期

【摘要】：介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准分子激光制备低温多晶硅领域的应用。讨论了准分子激光退火光学系统的发展现状,指出了其在平板显示行业的重要意义。
[Abstract]:The advantages of polycrystalline silicon film over amorphous silicon film in flat panel display and the crystallization process of polycrystalline silicon film prepared by excimer laser crystallization are introduced. The principle of realizing uniform light by lens array is introduced. The typical beam shaping system of excimer laser annealing is described in this paper. The application of continuous transverse curing technology in the field of low temperature polysilicon prepared by excimer laser is introduced. The development status of excimer laser annealed optical system is discussed and its significance in flat panel display industry is pointed out.
【作者单位】： 中国科学院安徽光学精密机械研究所;
【分类号】：TN304.12

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本文编号：1963700