硅基双环谐振腔力敏传感特性实验研究

发布时间：2018-06-10 21:07

  本文选题：微环谐振腔 + 绝缘体上硅　； 参考：《实验室研究与探索》2016年01期

【摘要】：为研究双环谐振腔结构力敏传感特性,设计了不同半径比的基于绝缘衬底上硅的双环微腔结构。通过理论分析以及实验测试并结合有限元仿真得出:半径比为3∶1的双环结构的灵敏度为80.26 pm/MPa;而半径比为1∶1的双环结构的灵敏度高达128.87 pm/MPa,具有高的检测灵敏度,表明双环微腔敏感结构单元可应用于应力检测领域。
[Abstract]:In order to study the sensing characteristics of double ring resonator structure, a double ring microcavity structure based on silicon on insulating substrate with different radius ratio is designed. Through theoretical analysis, experiment and finite element simulation, it is shown that the sensitivity of two-ring structure with a radius ratio of 3:1 is 80.26 pm / MPa, while that of a two-ring structure with a radius ratio of 1:1 is as high as 128.87 pm / MPa, which has high detection sensitivity. The results show that the double ring microcavity sensitive structure element can be used in the field of stress detection.
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金重点支持项目(91123036);国家自然科学基金杰出青年基金(51225504)
【分类号】：TN252

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本文编号：2004661