多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究

发布时间：2018-07-15 18:01

【摘要】：在分析石英晶片受力作用时晶片内应力分布的基础上,设计了一种多电极新型石英力敏谐振器及信号处理电路。在室温及大气状态下对设计的力敏谐振器同时进行激励时,各对电极对应的谐振器的力-频特性线性度及频率稳定性良好。将各谐振器的频率互作差频,再作叠加处理后,输出的频率信号的力-频系数达到2 951.8Hz/N,线性相关度为0.999 7,频率稳定性可达10-10数量级。
[Abstract]:A new type of quartz force sensitive resonator and signal processing circuit are designed on the basis of analyzing the stress distribution of quartz wafer. When the designed force sensitive resonator is excited simultaneously at room temperature and atmosphere, the linearity and stability of the force frequency characteristic of the resonator corresponding to each pair of electrodes are good. The frequency difference frequency of each resonator is interacted, and then superposed, the force-frequency coefficient of the output frequency signal is up to 2 951.8 Hz / N, the linear correlation is 0.999 7, and the frequency stability can reach 10-10 order of magnitude.
【作者单位】： 北京信息科技大学传感器重点实验室;昆明学院物理科学与技术系;
【基金】：北京市自然科学基金资助项目(4122030);北京市自然科学基金重点资助项目(B类KZ201511232037) 北京市教育委员会科技计划基金资助项目(KM201511232022) 现代控制技术教育部重点实验室(北京信息科技大学)基金资助项目
【分类号】：TN752.2

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本文编号：2124906