硅液面抖动对单晶生长的影响及解决办法
[Abstract]:With the large-scale development of photovoltaic industry, the effect of single crystal quality on generation cost is particularly important. However, silicon level jitter is a common phenomenon in Czochralski growth process, which affects the normal growth of single crystal. This paper analyzes the sources of jitter and its influence on the growth of single crystal in the process of production, and summarizes the methods to suppress the jitter of liquid level to eliminate this effect.
【作者单位】: 宁夏隆基硅材料有限公司;
【分类号】:TN304.12;O782
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