用于短波红外探测器的微透镜阵列制作

发布时间：2018-08-29 11:19

【摘要】：采用光刻胶热熔法制作具有特定尺寸的微透镜,制作的微透镜能将微透镜阵列技术应用于短波1μm?3μm红外探测器中,有效地提高探测器件的光电性能。采用AZ P4620厚光刻胶,利用紫外光刻技术,对透镜制作中的前烘、曝光和显影、坚膜、热熔等工艺进行了深入细致的实验研究,确定了最优的工艺参数,实现了球冠直径在(5.5±0.5)μm,曲率半径3μm的微透镜,且透镜有很好的均匀性和一致性,满足近红外探测器件的要求。
[Abstract]:Microlenses with special size are fabricated by photolithographic hot melt method. The microlens array technology can be applied to 1 渭 m ~ (3 渭 m) short wave infrared detector, which can effectively improve the photoelectric performance of the detector. By using AZ P4620 thick photoresist and UV lithography technology, the pre-drying, exposure and development, hard film and hot melt process of lens fabrication were studied in detail, and the optimum technological parameters were determined. A microlens with a spherical crown diameter of (5.5 卤0.5) 渭 m and a curvature radius of 3 渭 m has been realized. The lens has good uniformity and consistency, and meets the requirements of near-infrared detector.
【作者单位】： 北京工业大学信息学部光电子技术省部共建教育部重点实验室;
【基金】：2017年光电子技术教育部重点实验室基金(PXM2017_014204_500034)的经费支持
【分类号】：TN215

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2211042