高透过率0.85THz Mesh带通滤波器研制

发布时间：2018-10-15 08:57

【摘要】：本文研制了一个中心频率为0.85THz的带通滤波器。此滤波器的结构是在一层6μm厚的Mylar膜上镀一层"十"字型周期结构的金膜。首先,利用HFSS仿真不同Mylar膜厚度、不同"十"字型槽长度、槽宽度、不同周期长度下滤波器的透过率谱并对这几个参数进行优化,选取最优参数。然后,使用标准lift-off法制备带通滤波器。最后使用太赫兹时域光谱仪测试带通滤波器透过率谱。实验结果表明,此带通滤波器中心频率为0.83THz,通带带宽为0.3THz,透过率为89.7%,与仿真结果高度吻合。此研究对研制太赫兹带通滤波器有重要的参考价值。
[Abstract]:In this paper, a bandpass filter with center frequency of 0.85THz is developed. The structure of the filter is a gold film with a "ten" glyph periodic structure on a 6 渭 m thick Mylar film. Firstly, HFSS is used to simulate the transmittance spectrum of the filter with different Mylar film thickness, slot length, slot width and period length. The parameters are optimized and the optimal parameters are selected. Then, the standard lift-off method is used to fabricate the band-pass filter. Finally, THz time domain spectrometer is used to test the transmittance spectrum of bandpass filter. The experimental results show that the center frequency of the band-pass filter is 0.83THZ, the passband bandwidth is 0.3THzand the transmittance is 89.7. it is in good agreement with the simulation results. This study has important reference value for the development of terahertz bandpass filter.
【作者单位】： 中国科学院紫金山天文台;中国科学院射电天文重点实验室;中国科学技术大学天文与空间科学学院;
【基金】：国家自然科学基金(11127903,11190012,11473075) 中国科学院科研基金(XDB23020200)
【分类号】：TN713.5

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本文编号：2272019