电渗驱动纳米压印聚合物流变填充机理研究
[Abstract]:Electro-osmosis driven nano-imprint is a new type of nano-imprint technology, which has great potential and advantages in large area nano-imprint, high aspect ratio micro-nano structure, especially in large area graphics of fragile substrate. However, the electroosmotic nano-imprint is different from the existing "pressure-driven" nano-imprint and "electro-capillary force driven" nano-imprint, and the existing basic theory of nano-imprint polymer rheological filling and related research results are no longer applicable. In this paper, the mechanism, influencing factors and rules of rheological filling of nano-imprint polymer driven by electroosmosis were studied. Based on the principle of micro fluid electroosmotic drive, a theoretical model of driving force, filling speed and filling time of nano imprint driving force is established. By using COMSOL Multiphysics multi-physical field simulation software, the effects of liquid polymer dynamic filling process, process parameters, die geometry characteristics and polymer material properties on the rheological filling of nano-imprint were revealed. This study lays a theoretical foundation for electroosmotic driving nano-imprint technology and provides important theoretical support and directional guidance for the optimization of electroosmotic driving nano-imprint process and the development and performance improvement of embossing equipment.
【作者单位】： 青岛理工大学纳米制造与纳米电子实验室;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金重大研究计划(批准号:91023023);国家自然科学基金(批准号:51375250) 青岛市创业创新领军人才计划(批准号:13-CX-18)资助项目
【分类号】：TN305.7
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，本文编号：2332278
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