激光双频率外差法精密位移测量研究

发布时间：2018-12-24 16:14

【摘要】：基于激光干涉的测量技术目前已在观测测量中被广泛应用,测量设备也向着便携化、智能化和集成化的方向发展。目前的激光干涉测量设备大多是利用迈克尔逊干涉仪的原理,然而,该方法通常是将干涉信息在空间域上进行处理,对实验平台搭建和测量环境的要求也较为苛刻,在工业生产环境中运用时易受工业设备位移时产生的高频震动影响。因此,提出一种基于激光双外差干涉的位移量精密测量系统,利用两组激光外差信号来构成两组干涉仪,探测器接收到回波拍频信号后进行时间域的平均与频域解调,提高测量系统的鲁棒性,使得测量系统的准确度达到0.01mm。
[Abstract]:The measurement technology based on laser interference has been widely used in observation and measurement, and the measuring equipment is developing towards the direction of portability, intelligence and integration. At present, most of the laser interferometric devices use the principle of Michelson interferometer. However, the method usually processes the interference information in the spatial domain, and the requirements of the experimental platform and the measuring environment are also relatively harsh. When used in industrial production environment, it is easy to be affected by the high frequency vibration caused by the displacement of industrial equipment. Therefore, a precision displacement measurement system based on laser double heterodyne interference is proposed. Two sets of laser heterodyne signals are used to form two sets of interferometers. The detector receives echo beat signals and demodulates them in time domain and frequency domain. The robustness of the measurement system is improved, and the accuracy of the measurement system reaches 0.01 mm.
【作者单位】： 西安计量技术研究院;中国科学院西安光学精密机械研究所;西北大学物理学院;
【基金】：陕西省质监局科技计划项目(2014KY06)
【分类号】：TN249

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本文编号：2390816