中波红外双通道带通滤光片的研制

发布时间：2019-04-25 07:09

【摘要】：采用在单晶锗基底的两面分别设计中波红外带通滤光膜和中波红外负滤光膜的方法,设计了一种光谱性能优良的中波红外双通道带通滤光片。以适当的工艺技术完成了膜层的制备,并测试了实验样片的红外透射率光谱。结果显示,制备的中波红外双通道带通滤光片的通带透过率以及截止带截止深度均良好。由实验结果分析可知,镀膜材料蒸发角的变化和各层膜厚误差的累积,是导致实验片的测试光谱在截止带内出现两个较强的次峰,以及中间截止带略微偏移的主要原因。
[Abstract]:Using the method of designing medium-wave infrared band-pass filter and medium-wave infrared negative filter on both sides of single crystal germanium substrate, a medium-wave infrared dual-channel band-pass filter with good spectral properties was designed. The films were prepared by proper technology, and the infrared transmittance spectra of the samples were measured. The results show that both the pass-band transmittance and the cut-off depth of the mid-wave infrared dual-channel bandpass filter are good. The analysis of the experimental results shows that the change of evaporation angle and the accumulation of the thickness errors of each layer are the main reasons for the two strong secondary peaks in the cut-off band and the slight deviation of the intermediate cut-off band.
【作者单位】： 西安应用光学研究所;
【分类号】：TN215

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本文编号：2464896