多晶硅片表面缺陷的研究与定向凝固多晶硅锭热场模拟

发布时间：2019-10-22 07:49

【摘要】：结合实际工艺模拟多晶硅铸锭生产过程中的热场分布情况,研究了该热场对所生产多晶硅片缺陷分布的影响。同时采用对多晶硅片化学腐蚀抛光处理和位错刻蚀液处理之后的表面缺陷形貌表征的方法,以及观察扫描电镜(SEM)视角下其表面微结构,研究了采用定向凝固多晶硅锭工艺所得的多晶硅片表面缺陷情况。结果显示模拟该生产过程中热场分布情况对多晶硅片缺陷的影响和实验所得的结果相吻合。
【作者单位】： 渤海大学新能源学院;锦州奥克阳光新能源有限公司;
【基金】：国家自然科学基金项目(No.11304020) 辽宁省教育厅一般项目(No.1L2012401)
【分类号】：TN304.12

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2551545