基于螯合剂与活性剂的Cu-CMP清洗液对BTA去除的影响

发布时间：2020-02-11 00:42

【摘要】：以螯合剂与活性剂为材料,利用难溶物质微弱电离平衡、螯合剂络合机理以及活性剂的铺展、润湿以及渗透作用,结合有机物结构相似相溶原理,研制新型碱性清洗液,用于有效去除Cu-CMP后的苯并三氮唑(BTA)。通过接触角测试、电化学实验以及原子力显微镜(AFM)测试可以得出:体积分数为0.015%的FA/OⅡ螯合剂、体积分数为0.003%的FA/OⅠ螯合剂与体积分数为0.1%的FA/O活性剂组成的新型碱性清洗剂,采用清洗液体积流量为1 440 mL/min进行PVA刷洗,可以有效去除BTA,且具有较低的表面粗糙度和较高的表面耐腐蚀性。螯合剂既可以与Cu-BTA反应生成铜胺络离子去除BTA,也可作为催化剂,提高活性剂在Cu表面的铺展、润湿及渗透效果,进一步增强BTA的去除效果。

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本文编号：2578305