基于UV-LIGA技术的双频段波导带通滤波器设计与制备

发布时间：2020-04-07 23:39

【摘要】：双频段波导带通滤波器作为双频甚至多频无线通信系统中一个负责过滤信号的关键无源器件,如何提高其频率选择特性,实现其体积微型化已成为微波射频领域的一个热点。矩形波导以其低损耗、高功率容量且易于与测量系统互联的优点在微波频段广泛应用。本文通过对交叉耦合型带通滤波器的探索和研究,设计出一款结构简单、宽频带、低损耗、高带外抑制的双频段波导带通滤波器,并使用UV-LIGA技术完成了加工。通过总结国内外对于双频段滤波器的研究理论和设计理念,从波导带通滤波器的设计理论出发,结合谐振腔的交叉耦合理论,通过HFSS电磁仿真软件进行建模仿真,分别设计出了中心频率为80 GHz和100 GHz的单频段波导带通滤波器,并对相关结构参数进行扫描分析,发现了参数变化对滤波器性能的影响。利用波导分支接头将两个单频段波导带通滤波器并联起来,设计出了一款双频段波导带通滤波器,并对其进行了建模仿真。综合考虑双频段波导带通滤波器的结构模型和测试系统的连接方式,选用UV-LIGA技术完成了双频段波导带通滤波器的加工,并对其进行金属化处理和结构封装。结构封装前通过共聚焦显微镜对结构的三维形貌进行了观察和测量,测试结果发现其高度误差较小,表面平整,证明了加工方案的可行性。制备了测试用的波导法兰,对双频段波导带通滤波器的电磁性能进行了测试,测试结果与仿真结果基本吻合,对后续双频段波导带通滤波器的研制具有一定的意义。
【图文】：

2图 1.1 宽通带与窄阻带串联型双频段带通滤波器频带滤波器的研究最早始于上世纪 90 年代，关于双频段滤波器的设候提出的。最初提出的设计方法是通过宽带带通滤波器与窄带带阻滤

图1.2两个单频段滤波器S参数曲线（a）宽带带通滤波器S参数曲线
【学位授予单位】：中北大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2018
【分类号】：TN713

【参考文献】

相关期刊论文 前5条

1 王伟;贾志浩;段俊萍;崔建利;徐苏坪;张斌珍;;基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作（英文）[J];强激光与粒子束;2015年02期

2 樊伟;;趋肤效应的理论研究与解析计算[J];重庆工贸职业技术学院学报;2014年04期

3 吴德会;游德海;柳振凉;张忠远;;交流漏磁检测法趋肤深度的机理与实验研究[J];仪器仪表学报;2014年02期

4 顾哲明;王萍;金石磊;李小慧;李颖;;导电银胶在电磁屏蔽材料上的研究与应用[J];化学与黏合;2012年01期

5 文春明;尤政;温志渝;王晓峰;陈李;;SU-8胶制备三维微电极结构研究[J];功能材料;2011年S4期

相关硕士学位论文 前9条

1 孙玉洁;硅基太赫兹波导定向耦合器的设计及制备[D];中北大学;2017年

2 刘衬衬;微波滤波器的综合设计和诊断[D];南京邮电大学;2015年

3 郁剑;新型波导滤波器的研究与设计[D];南京邮电大学;2014年

4 章恺瑜;基于谐振腔的带通滤波器交叉耦合技术研究[D];南京邮电大学;2014年

5 顾婷婷;UHF波段带通滤波器小型化研究[D];杭州电子科技大学;2013年

6 王军;光刻工艺中聚酰亚胺层光阻减量和线宽均匀性研究[D];天津大学;2012年

7 曹晋;双通带滤波器的研制[D];电子科技大学;2011年

8 姜守明;交叉耦合滤波器设计[D];西安电子科技大学;2010年

9 唐黎明;波导腔体与交叉耦合滤波器的设计[D];电子科技大学;2008年

，

本文编号：2618549