引脚共面度的高精度三维检测与识别方法研究
【图文】:
精度的测量要求。逡逑2.2.2二维位移平台的选择逡逑设线激光传感器所测高度方向为Z,线方向为X,如图2-4所示。使用线激逡逑光传感器,我们仅能够得到待测物体表面一条线上点的X坐标和Z坐标,因此逡逑需要添加一个位移机构来实现Y方向的移动以获取物体整个表面的点云数据。逡逑同时,考虑到所选用的线激光传感器在X方向上的测量范围为32mm,为了扩展逡逑其在X方向上的测量范围,,本文所搭建的系统选用海德星高精度压电二维位移逡逑平台作为Y轴方向的位移机构,当必要时也可进行X方向的移动以实现较大尺逡逑12逡逑
逡逑寸物体表面三维点云的扫描,如图2-5所示。逡逑线激光传感器逡逑gH逡逑T?bb||逡逑Z/mm邋A逦ymmg逡逑"i逡逑/ii邋n\\逡逑tn邋i'逡逑///!'、'、、、逡逑///!\\\逡逑/邋/邋;邋!邋\邋\邋\逡逑/邋/邋/邋!邋\邋\邋\逡逑/邋/邋\邋\邋\逡逑/邋/邋/邋\邋\逡逑/邋/邋!、、、、、、、逡逑/邋/邋i邋i邋\邋\邋\逡逑/邋/邋/逦J逦\邋\逡逑/邋??逦I逦!逦\逦\邋\逡逑P'邋Pi邋Pi邋Pa邋Pi邋Pi,邋Pi邋X/mm逡逑^邋Y/mm逡逑图2-4基于线激光传感器的空间坐标的建立逡逑.W'吻逡逑作N邋?逡逑图2-5海德星高精度压电二维位移平台逡逑该压电二维位移平台使用压电马达进行驱动,采用交叉滚柱直线导轨保证运逡逑动沿直线运行。同时,它利用全闭环光删反馈进行位置定位,最小运动步长为逡逑50nm,重复定位精度小于0.5pm,和线激光传感器相互配合,满足高精度的检逡逑测要求。逡逑整个系统的硬件连接如图2-6所示。逡逑13逡逑
【学位授予单位】:天津工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TN41
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本文编号:2620338
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