金刚石线切割机控制系统设计

发布时间：2020-04-09 17:49

【摘要】：晶硅棒料切割是硅片加工中的一道重要工序,由于硅片被广泛应用于大规模集成电路和光伏发电产业中,因此设计一套效率高、产量大的线切割控制系统意义重大。目前硅片切割主要有游离磨料线切割,金刚石线切割等方式。由于金刚石线切割具有性价比高的优点,被广泛使用。本文基于PLC设计了一套能够对晶硅棒料进行多片切割的金刚石线切割机控制系统。主要完成了以下内容:第一:阐述了国内外金刚石线切割控制技术的发展、现状及研究意义,并总结了本课题的主要研究内容。第二:根据金刚石线切割机的机械结构,设计出合适的控制系统方案,并具体阐述控制系统收放线部分,排线部分,进料部分,主控单元和显示部分,张力补偿部分需要完成的工作,计算并确定使用的元器件型号。第三:对控制系统输入输出部分,张力补偿部分,控制器与驱动器电机等硬件部分进行了设计开发,并设计出了整个控制系统接线图。第四:对控制系统软件部分进行了设计。基于台达DOP soft设计出了带有自动/手动模式两种模式的触摸屏监控界面,能够监测金刚石线上的张力以及能够实现实时调速。基于台达ISP Soft编写了线切割系统控制程序能够实现对进料电机和收放线电机,排线电机的准确控制。
【学位授予单位】：青岛大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2018
【分类号】：TN305.1

【参考文献】

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本文编号：2621068