当前位置:主页 > 科技论文 > 电子信息论文 >

面向低成品率光刻机调度问题的反向-灾变共生生物搜索算法

发布时间:2020-05-15 12:07
【摘要】:针对传统进化算法在低成品率步进式光刻机的有效调度问题上因参数多或局部搜索能力不足导致求解质量欠佳的情况,以最小化最大完工时间为优化目标,提出了1种反向-灾变共生生物搜索算法。在共生生物搜索算法的种群初始化及寄生阶段使用反向学习增加种群多样性,从而扩展搜索广度;在算法陷入局部最优时进行灾变判断,根据判断结果跳出局部最优,在下1次迭代的互利共生与偏利共生阶段引入变邻域下降法增加搜索深度。对不同成品率情况进行多种算法的仿真实验,对比结果表明,所提算法具有更好的求解质量。

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 唐九耀,曹向群,陈钰清;光刻机的分辨率和对准特性研究[J];光电子·激光;2001年11期

2 ;充分发挥光刻机功能的研讨[J];中国计量学院学报;2001年02期

3 李艳秋;光刻机的演变及今后发展趋势[J];微细加工技术;2003年02期

4 严利人;光刻机曝光光学中的概念辨析[J];微细加工技术;2003年02期

5 ;国产首台直写式光刻机在合肥问世[J];集成电路通讯;2008年01期

6 赵阳;;光刻机常见故障与对策[J];上海电机学院学报;2009年02期

7 蒋薇;赵立新;;光刻机外型设计新理念[J];现代科学仪器;2013年01期

8 ;光刻机座谈会在江苏吴县召开[J];半导体设备;1977年03期

9 高仰月;间隙设定技术在光刻机中的应用[J];电子工业专用设备;1987年02期

10 卿典;中科院光电所制成1.5~2μm光刻机[J];红外;1994年05期

相关会议论文 前6条

1 何峰;吴志明;王军;袁凯;蒋亚东;;衬底材料对光刻机对准精度的影响研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年

2 闫观勇;王向朝;杨济硕;徐东波;;光刻机空间像的工件台坐标的校正方法[A];第十四届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2012年

3 滕伟;柳亦兵;;扫描光刻机硅片台五自由度激光测量模型[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年

4 王向朝;;光刻机投影物镜成像质量原位检测技术的研究[A];第十一届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2006年

5 彭明侨;罗先觉;邹晓松;;基于改进概率搜索算法的模拟电路故障诊断[A];第四届中国测试学术会议论文集[C];2006年

6 马明英9;王向朝;王帆;;一种新的光刻机投影物镜垂轴像质参数原位检测技术[A];第十一届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2006年

相关重要报纸文章 前7条

1 潘峰;安徽:国产首台直写式光刻机问世[N];中国电子报;2008年

2 哲一;芯硕半导体:亚微米级光刻机“合肥造”[N];中国电子报;2008年

3 本报记者 李治国;“智造”光刻机 十年磨一剑[N];经济日报;2012年

4 张白银 记者 单传洪;合肥经开区电子产业再现新亮点[N];安徽经济报;2010年

5 本报记者 唐玮婕;研发紧贴市场,“沿途下蛋”[N];文汇报;2012年

6 本报记者 陈磊 贾婧;以光为刃,,镌刻中国产业的“光刻指纹”[N];科技日报;2014年

7 ;EVG:推出全新光刻系统和测试设备[N];中国电子报;2009年

相关博士学位论文 前3条

1 许爽;基于成像光强的光刻机像差原位检测理论与方法研究[D];华中科技大学;2016年

2 刘巍;基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究[D];华中科技大学;2011年

3 李金龙;ArF浸没光刻双工件台运动模型研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2013年

相关硕士学位论文 前10条

1 刘法志;光刻机换台过程控制算法研究[D];哈尔滨工业大学;2015年

2 颜飞;光刻机微动测量系统数据处理方法研究[D];哈尔滨工业大学;2015年

3 高轩;UV-LED曝光系统及曝光工艺研究[D];北京交通大学;2016年

4 邹鹏程;光刻机粗精耦合及同步控制算法研究[D];哈尔滨工业大学;2010年

5 项程;光刻机双工件台系统数学模型的建立与验证[D];哈尔滨工业大学;2012年

6 刘旗;步进扫描光刻机工件台同步误差校正方法及控制[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2013年

7 李聪;光刻机双工件台轨迹规划算法研究[D];哈尔滨工业大学;2013年

8 闫华星;双工件台光刻机虚拟现实三维仿真平台设计[D];哈尔滨工业大学;2012年

9 周沛;光刻机运动平台功率放大控制卡的设计与实现[D];华中科技大学;2011年

10 曾毅;光刻机精密水温控制系统的热结构设计[D];电子科技大学;2012年



本文编号:2665000

资料下载
论文发表

本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/2665000.html


Copyright(c)文论论文网All Rights Reserved | 网站地图 |

版权申明:资料由用户04fad***提供,本站仅收录摘要或目录,作者需要删除请E-mail邮箱bigeng88@qq.com