光刻机运动台干涉信号相位细分的研究

发布时间：2020-05-18 13:14

【摘要】：随着我国科技的持续发展,芯片制造设备对精度要求不断提高,其中位移测量系统的高精度测量对设备精度的影响具有关键作用。在高精度位移测量系统中,光学干涉仪有很多独特优势,但是以整周期信号代表的位移为精度是无法满足现在工业的需求。为了提高位移测量精度,对测量信号进行细分处理,将整周期信号分成多个信号,实现对信号的倍频。本文是以光栅干涉仪的测量信号为研究对象,采用小波变换提取瞬时频率的方法,研究设计了在时间领域中对信号相位细分的方案,主要的研究内容如下。第一,介绍了干涉仪测量位移的相关理论及公式,和运动在空间和时间领域中的不同概念,设计了在时间域内进行细分的相位细分方案。根据对细分点频率确定方法的不同,设计了以采样点频率为频率和在采样点间均匀分布两种相位细分方案。通过对仿真的频率函数生成的数据处理,以采样点频率为频率的细分方法得到的细分相位的相位差的平均值为2.392×10-6rad,而细分点频率按照均匀分布的细分方法得到的细分相位的相位差的平均值为2.496×10-8rad。两种方案经过比较可以发现,细分点频率按照均匀分布的细分方法的相位差更小,选择使用细分点频率在采样点均匀分布的细分方法。第二,本文选择小波变换的方法提取信号的瞬时频率,在对仿真信号进行小波变换得到信号的频率后,使用得到的信号频率计算细分时间完成对信号相位细分。使用细分点频率按照均匀分布的细分方法对信号细分,得到的细分相位的相位差的平均值为7.744×10-4rad,与对理论信号频率细分处理;后的相位差相比很大,这表示在小波变换处理信号提取瞬时频率过程有误差,需要对相关误差进行分析和优化处理。第三,针对信号处理过程中端口出现边沿效应和小波变换离散化带来的误差,分别设计了五点平滑法和延伸方法处理端口出现的边沿效应,设计了基于拟合函数的多拟合函数联合优化法对信号进行优化处理。经过优化后细分相位的相位误差为2.831 ×10--5rad,与未经优化处理得到的相位误差1.911×10-4rad相比降低了将近10倍。在选择的栅距d= 833.3nm的光栅组成的光栅干涉仪测量位移的情况下,并且细分倍数为1024倍时,单个细分位移为0.8nm,位移误差为1.870×10-3nm,达到研究的预期目标。此细分方法还能根据不同的需求变换细分倍数,并且具有很好的稳定性。本文设计的基于小波变换提取瞬时频率的相位细分方案,在经过对小波变换引入误差的优化处理后,细分的效果能达到预期标准,通过光栅干涉仪对位移测量的精度能满足实际的需求。
【图文】：

流程图,台位,流程图,光刻机

第二章位移测量及其细分基本理论第二章位移测量及其细分基本理论机超精密运动台是光刻机的核心单元之一，光刻机的发展通过对精技术的研究和进步，运动台的位移测量精度直接影响运动台的定影响芯片的生产率，而本文研究 28nm 浸没式光刻机的测量系量程范围内，精度达到 5.7nm，，运动台测量系统的装置示意图如图

拍频信号

图 2-3 拍频信号图[25]动频率分别为和振幅都为，时间为的波的振 ě 振动公式为： ě )和(2-2)可得到合起来的振动公式为： ě ě 2-3)使用三角公式变换后，公式可以变换成： [ ě ( ) ] ě( ) ) ( )，干涉后的信号的频率为：激光干涉仪还是衍射光栅干涉仪都是利用两光波干，这两路光一条为参考光，另一条为测量光，测量光
【学位授予单位】：桂林电子科技大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2019
【分类号】：TN405

【参考文献】