柔性电路板制造过程中两类监控问题的研究及应用

发布时间：2020-06-19 04:37

【摘要】：柔性电路板,作为最重要的电子元器件或IC芯片的基板,凭借其高精密与高可靠的优越性能得到越来越广泛的应用。随着电子元器件尺寸的减小,柔性电路板线路布局越来越密集化,保证产品的质量也变得更加重要。因此对柔性电路板制造过程实施监控显得尤为重要。柔性电路板的高精密性主要体现在其线路布局的高密度化上,而蚀刻过程为柔性电路板精密线路布局的关键工序之一。本文以柔性电路板制造过程的蚀刻工序为例,研究时变以及多模态特征这两类统计过程监控方法及其应用。该研究对于操作人员实时了解过程运行状态,及时发现制造过程中的异常,保证产品质量具有重要作用。本文主要研究内容如下:(1)分析柔性电路板制造过程蚀刻工序的参数特点,得出蚀刻工序过程具有时变以及多模态特性的结论,根据蚀刻工序这两类特点展开多变量统计过程监控方法的研究;(2)针对柔性电路板制造过程蚀刻工序过程参数的时变特性,提出了一种基于距离条件的自适应支持向量描述模型快速更新策略,将该策略和递归核主元分析算法结合,实现对时变过程的快速、高效监控;(3)针对柔性电路板制造过程蚀刻工序过程参数的多模态特性,结合过程数据时间尺度以及空间尺度上的信息,提出一种多模型监控方法。该监控方法将过程数据时间尺度上的信息与峰值聚类方法结合,对训练数据进行模态划分;对于新数据,利用数据空间尺度上的局部特征信息,进行模态匹配,实现对多模态过程的监控.(4)对前面相关章节提出的监控方法进行集成,针对蚀刻工序的时变以及多模态特性设计一套监控方案,并结合工业需求设计柔性电路板蚀刻工序监控系统。
【学位授予单位】：华南理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2018
【分类号】：TN41
【图文】：

多变量统计过程监控方法是以过程历史数据为分析基础，提取过程数据中蕴含的特逡逑征§息，并建立监控指标对过程实施在线监控。多变量统计过程监控方法包括离线建模，逡逑在线监控两个工作阶段，传统的多变量统计过程监控方法的监控流程如图２－１所示［２４］。逡逑Ｉｓ逡逑Ｅ常历规据集．…………１逦采样数据邋＞逡逑＿邋＼ｎ邋｜灥ｒｆｆｆｉ}＾＾数截Ｊ处理逡逑数据预处理逦Ｉ逦ｆ逦ＩＩ逡逑逦５Ｔ逦逡逑＾１厂…－模型信蒽＊逦？逦特征提取逡逑建立统计模型邋丨逦逦Ｉ邋逦１否逡逑（潘征提取．）．逡逑逦逦邋邋邋ｙ逦逡逑＞ｒ逦啤控信息逦？邋计算监控统计量值逡逑设计监控统计量逦Ｊ逡逑：……控制限逦￣逡逑］逦Ｒ逡逑确定正常工况的阈值Ｔ逡逑逦－逦邋｜报警逡逑图２－１多变量统计过程监控方法流程逡逑１２逡逑

统计量能够正确反映当前过程的运行状况［２５］。故基于传统多变量过程监控方法对时变过逡逑程监控基本步骤应做如下改变：在过程监控阶段，需要依据检测数据对特征提取模型以逡逑及监控指标模型进行更新，其监控方法流程图如图３－１所示。逡逑１９逡逑

【参考文献】

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1 李U

本文编号：2720313