二维GeTe纳米片的物理气相合成及相变研究
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:TN304
【图文】:
图 1-2 硫属相变材料体系三元相图及发展应用历程[2]了上述的几个材料体系之外,为了进一步提升相变存储器的操作速度、等性能指标,研究人员开展了越来越多的新型硫属相变材料的研发工作用新的元素种类与原有材料的元素组合,比如 GaSbTe[21]、GaSbSe[22]、另一方面,在原有材料体系基础上掺杂入其他单质或化合物进行改性也要的研究方向,其中得到广泛研究的材料包括 WGeTe[24]等,它们在某些的表现具有一定的突破,有些具有较高的数据保持能力,有些具有较快有些大大降低了阈值电压,甚至能够超过 Ge-Sb-Te 材料体系。人们从不面表现的相变特性角度出发,进而在有特殊应用要求的相应领域开发拓统相变存储器一般都是基于硫属相变材料中高电阻率的非晶相和低电间的可逆相变。以当前具有最优综合性能的 Ge2Sb2Te5材料为例,将其非晶相转变为共振键合的亚稳态立方晶相,可将电阻率降低三个数量级
13图 1-3 a, b) In2Se3用于 RESET (a) 和 SET (b) 程序的 ID-VPROG特性曲线;c) In2Se3的耐久性测试;d-f) In2Se3处于原始 (d)、SET (e) 和 RESET (f) 状态的横截面 HRTEM 图像,插图为放大的 HRTEM 图像[28]经过这些年对硫属相变材料的广泛而深入的研究,科研人员们在选择材料组分、优化相变存储器各项性能指标等多个方面的探索已经取得了重大的进展与突破,但要解决相变材料结晶速度和数据保持能力的固有矛盾,开发更全面高性能的相变存储器还有很长的一段路要走。因此,为了突破目前硫属相变材料的应用瓶颈,进一步提升相变存储器的综合性能,推动 PCRAM 产业化进程的不断加速,还需要研究人员们的不断尝试与探索。
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