基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对距离测量方法研究

发布时间：2020-07-06 17:22

【摘要】：正精密测距技术是高端装备制造和工业生产中大尺寸机械零部件的测量、检测及装配的关键技术,如飞机机翼和船舶装配中的定位检测、大型精密机床的测量和装配、大尺寸工件内外径测量等。在阶梯式的结构测量中或制造现场无法铺设平直导轨的场合,常用的增量式干涉测量方法难以应用,急需大范围、高精度的绝对距离测量仪器。针对这一需求,论文提出了基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对距离测量方法,将频率扫描干涉法和多波长干涉法相结合进行大范围、高精度的绝对

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本文编号：2743911