基于PTM的集成电路可靠性评估方法研究
【学位授予单位】:江西理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TN407
【图文】:
图1.1 2010-2019 我国集成电路供需情况对比代集成芯片的制造工艺中,系统级的芯片可靠性要求高,但由于外部的攻击和温度梯度,CMOS 设备的功能无法得到保证。再者,电路集成度快速增大缩小,快速升高的软错误率极大地影响了集成电路的可靠性。因此,有必要尽早发现问题,巩固产品设计质量,提高评估结果的精确度。从以下几个方面性问题非常迫切:着科技不断进步,为了低成本、高性能这两个关键点,原材料不断创新,工艺、新结构引入进了集成电路制造中,已有的失效分析、测试方法以及寿定程度上可能不适用于评估新产品,且引入新材料、新工艺也可能会影响电器件特征尺寸不断缩小,随之工作电压也将急剧下降,这将减小电路内部电荷,并且各个节点的距离非常小,工艺偏差以及恶劣外部环境:如粒子辐射等,将增大集成电路的敏感度,从而导致电路发生故障的概率升高。工艺自发热和局部温升,互连线间的干扰问题愈加频繁,这于电路可靠性都是非
电子产品工作时间过长,将导致晶体管发生物理变化,最终导致电路失效。集成电路的生命周期一般分为三个阶段,如图2.1 所示:图2.1 集成电路失效阶段图Region (I):早夭期(Infancy period),在这个阶段,产品的失效率随着时间快速下降,造成失效的原因主要在于 ICs 设计和生产过程中存在的缺陷,例如焊接不牢导致的开路。一般可通过提高制造工艺质量来降低早期失效率。Region (II):使用期(Useful life period),也称为随机失效期,在这个阶段,产品的失效率保持稳定,且相对早夭期,失效率更低。失效的原因则比较随机,例如温度变化以及宇宙射线的辐射等。该段时间里,保证产品工作环境的温度、湿度在正常范围内是非常必要的。
第二章 相关理论12图2.2TMR 触发器电路图G. Russell[38]等人将并发错误检测/校正机制并入VLSI中,以不断监测电路的运行情况,并在某些情况下修正这些故障,提高产品生命周期。T Hashimoto[10]提出了一种自适应的时钟控制电路,以减少由于电源电压下降而导致的处理器性能下降。该电路利用多路 TDC 来减少量化误差和基于温度计码的数据处理来消除锁紧,从而缩短了频率调制延迟,得到更快的频率/供应跟踪。在纳米 CMOS 工艺中,制备了一种具有 SPARC 处理器核心的自适应时钟控制电路。实验测量结果表明,自适应控制电路实现了 7.5%的最先进的频率增益,达到了5 GHz 的工作频率。在一定程度上
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