微半球谐振陀螺仪数字化测控电路探究
【学位单位】:上海交通大学
【学位级别】:硕士
【学位年份】:2018
【中图分类】:TP212;TN70
【部分图文】:
微加工技术的发展促进了微陀螺在灵敏度和零偏稳定性等性能的良好表现,同时微陀螺性能的提高也离不开高性能的完备的电路系统的支持,下面将会简单的介绍国内外研究电路的现状,从而能够得到启发,为本课题的电路设计服务。研究现状将从模拟测控电路、数字测控电路以及数字电路的关键技术研究三个方面来介绍,其中的数字电路的技术研究包括温度补偿、正交补偿和模态匹配等关键性技术。1.2.1 模拟测控电路在 2008 年,韩国国立首尔大学采用的是模拟的控制电路[4],如图 1-1 所示。针对振动微陀螺仪设计了两个环路,图中下方的电路是用于驱动模式下的自动增益控制(AGC)环路,上方的电路是检测模态的控制电路。AGC 环路由电荷放大器、模拟微分器、包含有低通滤波器的检波电路、电压增益控制和乘法器组成。其中,电荷放大器是利用施加在固定电极上的直流差分电压的电荷积分电路来实现差分检测。等效差分电路是由一阶高通滤波器实现。
上海交通大学硕士学位论文后通过比例积分(PI)控制器来最小化误差信号。PI 控制器的输出信号连续调整VGA 的增益,使得驱动模态的振荡幅度保持在期望的水平。当达到稳定的驱动模态振动时,系统就可以实现角速率测量。该电路的开环检测机制比较简单,前置放大电路输出差分信号,通过驱动模态的振荡载波信号进行解调,并使用低通滤波得到一个直流输出,该信号与输入的角度成比例关系。
北京大学搭建了AGC-PI的模拟控制电路[6],如图1-3所示。这个MEMS陀螺的信号处理系统主要包括两个部分:驱动模态下的含有 PI 控制的 AGC 回路和检测模态下的解调电路。整个控制电路是基于纯模拟电路。振动速度的信号是通过微分器在电容电压转换后获得的。AGC 控制环路的主要部分是幅值检测,由低通滤波器,PID 控制器和模拟乘法器组成。由 AGC 控制器输出的交流分量通过缓冲器和反相器电路形成两个反相信号,再增加固定的直流偏置信号,以形成驱动信号,该驱动信号直接施加在驱动梳齿的电极上。在模拟电路中,整流器、低通滤波器和 PID 控制器是由运算放大器和一些基本的电容、电阻和二极管搭建实现的。PID 控制器可以通过使用单一的运算放大器或多个运算放大器的形式实现。前者的优点在于元件较少,但控制参数相互耦合,不能单独调节,后者具有独立的 PID 控制特性,可以独立进行优化。
【参考文献】
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