面向科学级CCD控制器的通用测试系统的设计与实现
【学位单位】:中国科学技术大学
【学位级别】:硕士
【学位年份】:2019
【中图分类】:TN386.5
【部分图文】:
MOS电容器是CCD内部最基本的单元,它是金属一氧化物一半导体(MOS)??器件结构。首先在P型或N型硅衬底上生长一层约120nm厚的二氧化硅,然后??在二氧化硅薄层上依次沉积金属电极(栅极),就形成了如图1.2所示规律的MOS??电容器阵列。通过在MOS电容器两端加上输入、输出二极管就形成了?CCD芯??片。由于半导体内的光生伏特效应[2],当光子入射时,MOS电容器中的半导体材??料会激发出电子。当向二氧化硅表面的金属电极上施加正向偏压UG时,如果UG??大于阈值电压Uth,将会在硅衬底中形成耗尽区,即所谓的势阱。通过对UG进行??一定顺序的控制,可以将电荷从一个像元转移到另一个像元,直到全部电荷包转??9??
图1.2?CCD的MOS电容器??下面以典型的三相CCD电荷转移过程为例进行介绍。当栅极①施加10V的??电压时,电荷积累在其衬底下形成势阱如图1.3?(a)所示。随后,当栅极①和②??同时施加10V的电压时,会在其共同的衬底中产生一个新势阱,存放着原来积??聚在栅极①势阱中的电荷,如图1.3?(be)所示。当栅极①施加的电压从10V变??为2V时,势阱再次发生变化同时伴随着电荷从栅极①势阱转移到栅极②势阱,??如图1.3?(de)所示。对于三相CCD,每一个像元都由共同的三个时钟控制,即??01、<&2、03,如图1.3?(f)所示。当OK?(D2、03进行规律的时序变换时,所??有像元内积聚的电荷都将同时转移到下一像元,最后转移到输出级依次输出。??③?①??????③??2V10V?2V?2V?2V10V?2-10V2V?2V10V10V2V??—?义)讲??①②③?①@③??2V10V-^2V10V2V?2V?2V10V?2V?,??9?9?9?9?叫-roj^??电荷移动??(d)?(e)?(fl??图1.3三相CCD中电荷的转移过程??图1.4左是CCD片内的输出结构
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本文编号:2871797
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