飞秒激光制备的功能化微流控芯片的研究

发布时间：2020-12-07 08:13

　　微流控芯片技术凭借其显著的优势:高集成度、试剂消耗量小、高效率、环境友好、微型化、可携带、低成本以及操控简单等,受到了广泛的关注和研究,被誉为二十一世纪改变世界的七大技术之一。随之微流控芯片的设计与加工作为微流控芯片技术的重要部分,引起了人们的重视。传统的微流控芯片加工方法主要是基于MEMS技术的平面化工艺,得到的是2D微流控芯片,而3D微流控芯片具有更多高性能,该方法很难实现3D微流控芯片的加工,因此,3D微流控芯片的加工越来越急需解决。随着激光技术不断发展,脉冲宽度急剧减小,峰值功率大幅度提高,这使得飞秒激光在微纳米加工领域的优势逐渐显现出来,并占领一席之地。飞秒激光双光子聚合加工方法凭借其高空间分辨率、真三维加工、加工热效应极低且可加工的材料种类广泛等特点被广泛应用在微流控芯片加工领域。与传统微流控芯片加工方法相比,飞秒激光微纳加工不需要掩模板,可以灵活可控地在微流控芯片中集成多样化的3D微器件,赋予芯片更加优良的性能。在很多微流控芯片应用中,流速的实时测量是非常重要的。本文提出利用飞秒激光双光子聚合加工方法在微流控芯片中成功集成了 3D弹簧状流量传感器,与当前已存在的流量传感器... 

【文章来源】：中国科学技术大学安徽省 211工程院校 985工程院校

【文章页数】：63 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图１．２?ａ）采用流式细胞仪实现细胞计数的示意图；ｂ）流式细胞仪的实物图

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【参考文献】：
期刊论文
[1]飞秒激光制备微光学元件及其应用[J]. 曹小文,张雷,于永森,陈岐岱.  中国激光. 2017(01)
[2]基于飞秒激光直写的三维高定向碳纳米管组装[J]. 龙婧,熊伟,刘莹,蒋立佳,周云申,李大卫,姜澜,陆永枫.  中国激光. 2017(01)
[3]激光纳米制造技术的应用(邀请论文)[J]. 钟敏霖,范培迅.  中国激光. 2011(06)
[4]超薄塑件注塑成形特性的试验研究与数值模拟[J]. 宋满仓,刘柱,于同敏,赵丹阳.  机械工程学报. 2008(08)
[5]聚甲基丙烯酸甲酯微流控分析芯片的简易热压制作法[J]. 杜晓光,关艳霞,王福仁,方肇伦.  高等学校化学学报. 2003(11)

博士论文
[1]飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究[D]. 郭锐.中国科学技术大学 2008



本文编号：2902932