一款S波段双通道FBAR滤波器

发布时间：2021-01-10 03:16

　　研制了一款S波段双通道薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器,其两个通带频率分别为（2 000±45）MHz和（2 800±45）MHz,在两个通道的输入、输出端分别加入匹配电路。FBAR滤波器芯片采用阶梯型电路结构设计,采用声电磁协同仿真方法对各个通道的FBAR滤波器分别进行了仿真设计。匹配电路采用由低通滤波器和高通滤波器构成的双工器方案实现。对印制电路板、FBAR滤波器芯片和匹配电路进行了一体化仿真。FBAR滤波器芯片采用自主的FBAR标准工艺实现,双通道FBAR滤波器采用微波混合集成电路工艺实现,其体积为12.2 mm×12.2 mm×4.8 mm。滤波器采用陶瓷外壳进行了气密封装,具有免调试、参数一致性好的特点,拓宽了FBAR滤波器的应用范围。 

【文章来源】：半导体技术. 2020,45(09)北大核心

【文章页数】：5 页

【部分图文】：

图1 双通道滤波器电路框图

本文采用3节截止频率均为2 500 MHz的低通滤波器和高通滤波器实现双工器匹配电路,即f1通道采用低通滤波器,使频率为2 000 MHz的通带信号通过,f2通道采用高通滤波器,使频率为2 800 MHz的通带信号通过,其电路图如图2所示,图中端口1为公共端口,端口2为f1通道输出端口,端口3为f2通道输出端口。采用微波仿真软件对双工器的电容、电感值进行优化,使两通道通带内的输出电压驻波比(VSWR2,VSWR3)尽量小,仿真曲线如图3所示。图中S21,d为f1通道的正向传输特性,在滤波器通带(2 000±45)MHz内插入损耗为1.61 dB,S31,d为f2通道的正向传输特性,在通带(2 800±45)MHz内插入损耗为1.87 dB。图3 双工器仿真曲线

图3 双工器仿真曲线


本文编号：2967951