单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气敏传感器的制作与性能

发布时间：2021-01-14 21:07

　　通过使用化学气相沉积法,成功制备出超长、大尺寸的Sb掺杂ZnO微米线.基于非平衡电桥原理,利用单根Sb掺杂ZnO微米线作为非平衡电桥的一个桥臂,制作出了可以在室温环境下工作的气敏传感器原型器件.结果表明:室温下测得该传感器对20,50,100和200 ppm (1 ppm=10^-6)不同浓度的丙酮及乙醇气体的响应-恢复曲线均呈现为矩形形状,在空气及被测气体中均有稳定的电流值,并随着探测气体浓度的增大,器件的响应值也在逐渐增加.此外,还发现器件对丙酮气体具有更好的选择性,当丙酮气体浓度为200 ppm时,该传感器的响应时间为0.2 s,恢复时间为0.3 s,响应度高达243%.通过与普通电导式气敏传感器对比发现,采用这种非平衡电桥结构传感器可以明显地提高响应度,使响应和恢复时间更快.此外,还研究了器件的气体探测机理. 

【文章来源】：物理学报. 2020,69(03)北大核心

【文章页数】：7 页

【参考文献】：
期刊论文
[1]Al纳米颗粒表面等离激元对ZnO光致发光增强的研究[J]. 刘姿,张恒,吴昊,刘昌.  物理学报. 2019(10)
[2]外电场极化对纳米氧化锌拉曼活性及气敏性能的影响[J]. 李酽,李娇,陈丽丽,连晓雪,朱俊武.  物理学报. 2018(14)
[3]衬底位置对化学气相沉积法制备的磷掺杂p型ZnO纳米材料形貌和特性的影响[J]. 冯秋菊,许瑞卓,郭慧颖,徐坤,李荣,陶鹏程,梁红伟,刘佳媛,梅艺赢.  物理学报. 2014(16)



本文编号：2977550