空腔型体声波滤波器及其宽带化技术研究
发布时间：2021-01-29 20:27
第五代移动通信（5G）技术对小体积、高频、宽带和高性能的空腔型体声波谐振滤波器（FBAR filter）提出了迫切需求。该技术融合了声学、射频和MEMS工艺。目前存在着无专用的设计平台,对薄膜材料要求高、工艺复杂等研究困难。同时,FBAR滤波器是一类典型的窄带器件,如何增加其工作带宽,满足宽带信号处理要求,也是近年来的研究热点。本文通过建立有限元（FEM）模型、等效电路模型和全波仿真模型,系统地阐述材料和结构对体声波谐振器性能的影响规律,以及压电材料、封装、寄生振动和电路结构对体声波滤波器性能的影响,建立全套高精度仿真平台,并为宽带FBAR的实现提供理论指导。通过对空腔结构、压电和电极薄膜制备、频率修调等关键工艺的微观（如结构、形貌等）和宏观（如应力、均匀性等）特性研究,获得满足FBAR优异压电性、高结构稳定性及低能量耗散等要求的材料及工艺基础。最后,研制、测试和分析了常规、高Q、高有效机电耦合系数(kt2eff)结构体声波谐振器和高频、高Q、宽带体声波滤波器。本文从模拟仿真、材料制备、器件工艺和测试等方面进行研究,取得系列成果和创新。1.空...
【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：141 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
超外差结构射频前端示意图
图 1-2 三频段零中频射频前端示意图[3]图 1-3 目前手机射频前端示意图[3]SAW 滤波器是一种基于声表面波理论，利用叉指换能器实现频率选择的器件工作频率是由声表面波的声速和叉指换能器周期共同决定[12]。由于压电单晶声速较低，在目前的金属指条加工精度下，量产 SAW 滤波器最高频率小
2图 1-3 目前手机射频前端示意图[3]SAW 滤波器是一种基于声表面波理论，利用叉指换能器实现频率选择的器件工作频率是由声表面波的声速和叉指换能器周期共同决定[12]。由于压电单晶声速较低，在目前的金属指条加工精度下，量产 SAW 滤波器最高频率小
【参考文献】：
期刊论文
[1]工信部向电信运营企业发放5G系统试验频率使用许可[J]. 本刊讯. 中国无线电. 2018(12)
[2]中国联通:2020年计划正式商用5G 打造产业新生态[J]. 耿鹏飞. 通信世界. 2018(18)
[3]军用技术转民用推广目录(续)[J]. 新技术新工艺. 2018(02)
[4]邬贺铨院士:5G已经向我们走来,2020年前至少要启动商用[J]. 耿晓军. 物联网技术. 2018(02)
[5]5G时代的射频前端技术分析[J]. 贺军,高怡平. 集成电路应用. 2017(12)
[6]QORVO推出业界首款面向5G迁移的高功率BAW滤波器[J]. 半导体信息. 2017(04)
[7]薄膜体声波滤波器的发展现状[J]. 徐学良,陆玉姣,杨柳,杜波,蒋欣,马晋毅. 压电与声光. 2017(02)
[8]薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计[J]. 杜波,马晋毅,蒋欣,江洪敏,徐阳,田本朗,金成飞,司美菊. 压电与声光. 2016(04)
[9]基于倾斜换能器的高性能声表面波滤波器设计[J]. 令狐梅傲,吴畏,蒋世义,吴中超,申向伟,傅礼鹏,陈永峰. 压电与声光. 2016(03)
[10]本土企业挖掘潜在机会[J]. 孙俊杰. 电子产品世界. 2014(10)
博士论文
[1]单片微声薄膜射频信号处理器技术研究[D]. 欧黎.电子科技大学 2018
[2]微机电体声波谐振器的性能及片上结构研究[D]. 张睿.电子科技大学 2016
[3]体声波谐振器空腔结构研究[D]. 焦向全.电子科技大学 2015
[4]基于Cu/15°YX-LiNbO3的声表面波滤波器研究[D]. 王华磊.电子科技大学 2013
[5]嵌入式电极侧向场激励FBAR若干问题的研究[D]. 冯斌.浙江大学 2013
[6]FBAR微质量传感器若干关键问题的研究[D]. 李侃.浙江大学 2011
[7]薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究[D]. 金浩.浙江大学 2006
硕士论文
[1]SMR-FBAR布拉格反射栅复合薄膜结构的制备及器件热性能研究[D]. 贾振宇.哈尔滨工业大学 2013
[2]基于FBAR的微质量传感器的设计及应用技术研究[D]. 徐航.上海交通大学 2013
[3]FBAR温度传感器研究[D]. 刘世洁.浙江大学 2012
[4]FBAR及其振荡器的研究[D]. 吴梦军.浙江大学 2012
[5]温度补偿的压电薄膜体声波滤波器[D]. 胡念楚.天津大学 2011
[6]AIN薄膜中频溅射制备及体声波谐振器研制[D]. 汪振中.电子科技大学 2011
[7]可调谐体声波谐振器用BST薄膜材料研究[D]. 谭乐凡.电子科技大学 2010
本文编号：3007555
【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：141 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
超外差结构射频前端示意图
图 1-2 三频段零中频射频前端示意图[3]图 1-3 目前手机射频前端示意图[3]SAW 滤波器是一种基于声表面波理论，利用叉指换能器实现频率选择的器件工作频率是由声表面波的声速和叉指换能器周期共同决定[12]。由于压电单晶声速较低，在目前的金属指条加工精度下，量产 SAW 滤波器最高频率小
2图 1-3 目前手机射频前端示意图[3]SAW 滤波器是一种基于声表面波理论，利用叉指换能器实现频率选择的器件工作频率是由声表面波的声速和叉指换能器周期共同决定[12]。由于压电单晶声速较低，在目前的金属指条加工精度下，量产 SAW 滤波器最高频率小
【参考文献】：
期刊论文
[1]工信部向电信运营企业发放5G系统试验频率使用许可[J]. 本刊讯. 中国无线电. 2018(12)
[2]中国联通:2020年计划正式商用5G 打造产业新生态[J]. 耿鹏飞. 通信世界. 2018(18)
[3]军用技术转民用推广目录(续)[J]. 新技术新工艺. 2018(02)
[4]邬贺铨院士:5G已经向我们走来,2020年前至少要启动商用[J]. 耿晓军. 物联网技术. 2018(02)
[5]5G时代的射频前端技术分析[J]. 贺军,高怡平. 集成电路应用. 2017(12)
[6]QORVO推出业界首款面向5G迁移的高功率BAW滤波器[J]. 半导体信息. 2017(04)
[7]薄膜体声波滤波器的发展现状[J]. 徐学良,陆玉姣,杨柳,杜波,蒋欣,马晋毅. 压电与声光. 2017(02)
[8]薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计[J]. 杜波,马晋毅,蒋欣,江洪敏,徐阳,田本朗,金成飞,司美菊. 压电与声光. 2016(04)
[9]基于倾斜换能器的高性能声表面波滤波器设计[J]. 令狐梅傲,吴畏,蒋世义,吴中超,申向伟,傅礼鹏,陈永峰. 压电与声光. 2016(03)
[10]本土企业挖掘潜在机会[J]. 孙俊杰. 电子产品世界. 2014(10)
博士论文
[1]单片微声薄膜射频信号处理器技术研究[D]. 欧黎.电子科技大学 2018
[2]微机电体声波谐振器的性能及片上结构研究[D]. 张睿.电子科技大学 2016
[3]体声波谐振器空腔结构研究[D]. 焦向全.电子科技大学 2015
[4]基于Cu/15°YX-LiNbO3的声表面波滤波器研究[D]. 王华磊.电子科技大学 2013
[5]嵌入式电极侧向场激励FBAR若干问题的研究[D]. 冯斌.浙江大学 2013
[6]FBAR微质量传感器若干关键问题的研究[D]. 李侃.浙江大学 2011
[7]薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究[D]. 金浩.浙江大学 2006
硕士论文
[1]SMR-FBAR布拉格反射栅复合薄膜结构的制备及器件热性能研究[D]. 贾振宇.哈尔滨工业大学 2013
[2]基于FBAR的微质量传感器的设计及应用技术研究[D]. 徐航.上海交通大学 2013
[3]FBAR温度传感器研究[D]. 刘世洁.浙江大学 2012
[4]FBAR及其振荡器的研究[D]. 吴梦军.浙江大学 2012
[5]温度补偿的压电薄膜体声波滤波器[D]. 胡念楚.天津大学 2011
[6]AIN薄膜中频溅射制备及体声波谐振器研制[D]. 汪振中.电子科技大学 2011
[7]可调谐体声波谐振器用BST薄膜材料研究[D]. 谭乐凡.电子科技大学 2010
本文编号：3007555
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