电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性

发布时间：2021-02-15 02:00

　　电介质、聚合物薄膜的电子束诱导电导特性是其电子显微检测以及绝缘性能研究的重要手段。基于Rutherford模型模拟电子的散射过程,利用电流连续性方程计算电荷的输运过程,采用数值计算结合实验研究了SiO₂、PMMA薄膜的电子束诱导电导特性。结果表明,由于电子的输运,样品内部净电荷密度呈现近表面为正、内部为负的特性,空间电场推动电子向衬底输运,产生电子束诱导电导。电流增益随偏压的增大近似线性增大;由于电子迁移率较低,相同条件下PMMA薄膜的电流增益值远低于SiO₂薄膜的相应值。诱导电导随束流呈现近似线性特性,对于本文1μm厚度的薄膜样品,电流增益随束能变化在约20 keV处呈现极大值。 

【文章来源】：固体电子学研究与进展. 2020,40(02)北大核心

【文章页数】：8 页

【部分图文】：

电子束诱导电导产生示意图

图2是实验装置简化示意图，用于测量电子束诱导电流。整个装置放置于高真空实验舱内。电子枪为热场发射电子枪，束斑直径为100 nm。样品放置于具有良好导电性能的金属平台，下方连接安捷伦B2981A皮安计用于收集和测量电子束诱导电流。相关实验参数如表2所示。3 结果与分析

模拟净电荷沿深度方向分布：(a)SiO2;(b)PMMA

【参考文献】：
期刊论文
[1]数百eV低能电子束照射电介质样品带电效应[J]. 李维勤,李超.  固体电子学研究与进展. 2018(02)
[2]低入射能量下电介质样品出射电子特性[J]. 李维勤,霍志胜.  固体电子学研究与进展. 2017(05)
[3]电子辐照电介质样品带电泄放弛豫特性研究[J]. 封国宝,曹猛,崔万照,李军,刘纯亮,王芳.  物理学报. 2017(06)
[4]高能电子辐照绝缘厚样品的表面电位动态特性[J]. 李维勤,郝杰,张海波.  物理学报. 2015(08)
[5]高能电子照射绝缘样品的泄漏电流特性[J]. 李维勤,刘丁,张海波.  物理学报. 2014(22)



本文编号：3034227