基于多元正态分布的飞秒激光烧蚀光斑质心提取

发布时间：2021-02-27 09:34

　　飞秒激光在加工单晶硅过程中伴随着等离子体衍生发光现象,并以激光光斑形式表现出来,激光烧蚀效果受激光脉冲能量、光学设置、材料特性、环境参数等因素的影响,参数的选择是实现理想加工的关键,由此引入光斑质心的提取,研究光斑的变化规律以提高加工精度的目的。常用的质心提取算法有灰度质心法、高斯曲面拟合法等,但由于受到噪声的影响,光斑的灰度峰值可能发生偏差,提取的质心同真实质心相比误差较大,由此引入多元正态分布,在多个方向拟合高斯曲面,通过极大似然法估计质心,在精度方面得到了很大的改善。 

【文章来源】：激光与红外. 2020,50(08)北大核心

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 引 言
2 基于多元正态分布的光斑质心提取过程
    2.1 光斑质心提取方案
    2.2 光斑质心提取方法
        2.2.1 灰度质心法
        2.2.2 多元正态分布的极大似然估计
3 仿真实验
    3.1 三种方法的标准差比较
    3.2 质心坐标分析
4 结 论


【参考文献】：
期刊论文
[1]基于三维反正切函数拟合的光斑质心提取算法[J]. 张惠,李国平,张勇,胡守伟.  红外与激光工程. 2019(02)
[2]改进阈值分割的光斑中心定位方法[J]. 赵琦,郝士琦,张岱.  激光与红外. 2018(05)
[3]飞秒激光烧蚀硅材料表面形成周期波纹形貌研究[J]. 李志明,王玺,聂劲松.  物理学报. 2017(10)
[4]基于各向异性高斯曲面拟合的星点质心提取算法[J]. 王敏,赵金宇,陈涛.  光学学报. 2017(05)
[5]星点亚像元细分定位精度分析[J]. 连月勇,张超,谢宗特.  测绘科学技术学报. 2015(06)
[6]基于高斯拟合的激光光斑中心定位算法[J]. 王丽丽,胡中文,季杭馨.  应用光学. 2012(05)

博士论文
[1]大型装备装配位姿视觉检测的关键技术研究[D]. 杨博文.南京航空航天大学 2013

硕士论文
[1]基于分子动力学的飞秒激光烧蚀硅的研究[D]. 周卫国.哈尔滨工业大学 2014
[2]面向实时高精度三维测量的光斑图像提取与误差补偿[D]. 冯新星.南京航空航天大学 2012
[3]星图定位与识别技术研究[D]. 程征.西安电子科技大学 2010



本文编号：3054036