基于局部保持嵌入-K近邻比率密度的半导体蚀刻过程故障诊断策略

发布时间：2021-03-26 07:02

　　针对多模态间歇过程存在数据维度高且方差差异较大的特征,提出一种基于局部保持嵌入–K近邻比率密度（NPE–KRD）规则的故障检测方法.首先,利用局部保持嵌入（NPE）方法将原始的高维数据投影到低维空间;其次,在低维空间通过计算样本的密度及其前K近邻密度的均值来建立K近邻比率密度（KRD）;最后,根据核密度估计法确定统计量控制限并进行故障诊断. NPE方法既能够在低维空间保持数据局部近邻结构,又能够降低故障检测过程的计算复杂度.通过引入比率密度, NPE–KRD可以降低多模态方差结构差异对故障检测的影响,提高过程故障检测率.通过数值例子和半导体工业过程的仿真实验,并与主元分析、K近邻、局部保持嵌入等方法进行比较,验证了本文方法的有效性. 

【文章来源】：控制理论与应用. 2020,37(06)北大核心EICSCD

【文章页数】：7 页

【参考文献】：
期刊论文
[1]基于独立元的k近邻故障检测策略[J]. 张成,高宪文,徐涛,李元,逄玉俊.  控制理论与应用. 2018(06)
[2]基于判别核主元空间k近邻的批次过程监视[J]. 张成,郭青秀,李元.  计算机应用. 2018(08)



本文编号：3101179