复杂系统光刻机的可靠性评价方法

发布时间：2021-04-02 19:57

　　光刻机研发周期长且结构复杂,鉴于目前国内外缺乏系统、有效的光刻机可靠性工作水平的评价方法,通过对光刻机的开发流程与可靠性工作项目相结合的研究,提出了一种适用于复杂系统光刻机的可靠性指数模型及相应的评价体系,主要包含可靠性设计、物料优选、可靠性试验、故障归零及现场可靠性数据等参数进行可靠性工作水平评价。通过实例表明,该指数可客观地用于光刻机可靠性工作评价,并有效指导企业进行可靠性的持续改进,从而提升光刻机可靠性系统管理的效率与科学化。 

【文章来源】：制造技术与机床. 2020,(09)北大核心

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
1 可靠性指数模型
    1.1 可靠性指数内涵
    1.2 可靠性指数模型
    1.3 可靠性指数量化及数据
2 案例应用分析
3 结语


【参考文献】：
期刊论文
[1]一种中型企业的物料优选管控方法[J]. 朱辉,周旭,郭菁莘.  电子工业专用设备. 2019(02)
[2]全球光刻机发展概况以及光刻机装备国产化[J]. 张霞,刘宏波,顾文,周细应,于治水.  无线互联科技. 2018(19)
[3]武器装备研制通用质量特性工程能力评价方法[J]. 黄超,谷长超,张磊刚.  质量与可靠性. 2018(04)
[4]数控机床可靠性工程的实施[J]. 张根保,罗静.  制造技术与机床. 2016(09)
[5]数控机床可靠性评价体系探究[J]. 黄洪钟,刘征,彭卫文,李彦锋,米金华.  制造技术与机床. 2015(07)
[6]光学光刻机的未来技术[J]. 程建瑞.  电子工业专用设备. 2011(11)
[7]光刻机技术现状及发展趋势[J]. 彭祎帆,袁波,曹向群.  光学仪器. 2010(04)
[8]可靠性系统工程能力成熟度模型研究[J]. 王靖,康锐.  航空维修与工程. 2008(03)



本文编号：3115867