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氧化镓晶体不同晶面的纳米力学性能

发布时间:2021-04-04 15:12
  为了分析易解理的脆性氧化镓晶体的精密加工过程中材料去除机理,采用金刚石压头、G200型纳米压痕仪,分别对氧化镓晶体的(100)和(010) 2个主要晶面的纳米力学性能进行了试验研究。纳米压痕试验发现:2个晶面都有"pop-in"现象,首次出现pop-in的载荷分别为:4.31 m N和5.42 m N。通过变载荷纳米划痕试验和VK-X110激光显微系统观测,发现2个晶面都有"pile-up"现象,刻划过程中期均出现了塑性域加工特征,(100)和(010)晶面的塑性域加工切削深度范围分别是96.5~576.8 nm和84.6~421.6 nm。 

【文章来源】:硅酸盐学报. 2020,48(01)北大核心EICSCD

【文章页数】:5 页

【部分图文】:

氧化镓晶体不同晶面的纳米力学性能


压痕卸载过程截面示意图

曲线,载荷,压入,晶面


通过AFM对压痕及周围表面形貌进行观察,当压痕载荷为10 m N时,AFM记录的压痕底部凹陷见图4a所示。当压痕载荷为100 m N时,不仅压痕底部凹陷,压痕表面两侧还出现凸起(如图4c所示)。压痕截面轮廓如图4b和图4d所示。这表明氧化镓晶体在加载过程中出现pile-up现象[16],即压痕周围出现了凸起现象。图3 首次出现pop-in时的载荷–位移曲线的局部放大图

局部放大图,载荷,局部放大图,位移曲线


首次出现pop-in时的载荷–位移曲线的局部放大图

【参考文献】:
期刊论文
[1]Ag-GNSs/SnAgCu钎料纳米压痕变形行为研究[J]. 徐连勇,张舒婷,荆洪阳,韩永典.  机械工程学报. 2018(08)
[2]用纳米压痕复合扫描电子显微镜分析水泥砂浆中单一组相的力学性能(英文)[J]. 高岳毅,张亚梅,胡传林,李宗津.  硅酸盐学报. 2012(11)

博士论文
[1]辐照/压痕载荷/表面图形化条件下蓝宝石单晶性能研究[D]. 柯瑞.哈尔滨工业大学 2014



本文编号:3118277

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