金属氧化物薄膜晶体管的稳定性研究
发布时间：2021-04-05 01:42
在信息时代的今天,信息的传递至关重要,据统计,在人的感觉器官获取的各种信息的总量中,视觉所占有的比例在百分之八十以上。因此,显示技术作为视觉与各种信息的桥梁,受到人们极大的关注与重视。现今市场上的主流显示器仍为液晶显示（LCD）,不过有机发光显示（OLED）由于其优异的显示质量,有望成为新一代的主流显示技术。但是无论是LCD还是OLED,所采用的驱动技术都是有源矩阵的形式,而这就离不开一个关键的元件——薄膜晶体管（TFT）。在众多TFT的半导体中,金属氧化物（MO）半导体因为诸多优异的性能,如迁移率高、成本低、工艺温度低等,引起了广泛的关注。目前,MO-TFT已经应用于大尺寸LCD电视产品上,但在中小尺寸超高清显示产品的应用还需要解决在有光或者热这种实际环境中的偏压稳定性问题。基于此,我们在原有的研究的基础上,在ScInO半导体中掺杂一种元素,形成四元体系的半导体,以期提高器件的偏压热稳定性。首先选择的材料是Mg,以MgScInO作为有源层,制备出的TFT器件迁移率虽然不高(4.7 cm2 V-11 s-1),但是负栅偏...
【文章来源】：华南理工大学广东省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：73 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
TFT的重要历史发展节点[4]
图 1-2 2T1C 电路的基本结构[5]Fig. 1-2 Basic structure of 2T1C circuit[5]硅 TFT以非晶硅作为有源层的一种 TFT。非晶硅材料，具有氢化的情况下，内部的缺陷态密度较大，Lecom陷态密度，提升非晶硅 TFT 的器件性能，在材料中以其作为有源层材料制备出了 a-Si:H TFT 器件。a不存在晶界，因而电学的均匀性较好，而且它具有]，通常在 0.1~1 cm2V-1s-1，但对于 AMLCD 这类电其驱动需求。不过，迁移率的不足，a-Si:H TFT 想 AMOLED 上，却显得乏力。而且 a-Si:H TFT 还存
图 1-3 LGD 自发声电视[50]Fig. 1-3 LGD Crystal Sound OLED[50]面，2018 年年底，由香港永宁控股有限公司总投资 8项目签约仪式在浙江省宁波市鄞州区举行，标志着我 E-Paper 产业化生产线正式落地[51]。面，三星、华为等相继发布了可折叠的柔性手机，如图
【参考文献】：
期刊论文
[1]氧化物薄膜晶体管研究进展[J]. 兰林锋,张鹏,彭俊彪. 物理学报. 2016(12)
[2]金属氧化物薄膜晶体管及其在新型显示中的应用[J]. 曹镛,陶洪,邹建华,徐苗,兰林锋,王磊,彭俊彪. 华南理工大学学报(自然科学版). 2012(10)
博士论文
[1]薄膜晶体管及其在有源矩阵有机发光二极管中的应用[D]. 兰林锋.华南理工大学 2010
本文编号：3118889
【文章来源】：华南理工大学广东省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：73 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
TFT的重要历史发展节点[4]
图 1-2 2T1C 电路的基本结构[5]Fig. 1-2 Basic structure of 2T1C circuit[5]硅 TFT以非晶硅作为有源层的一种 TFT。非晶硅材料，具有氢化的情况下，内部的缺陷态密度较大，Lecom陷态密度，提升非晶硅 TFT 的器件性能，在材料中以其作为有源层材料制备出了 a-Si:H TFT 器件。a不存在晶界，因而电学的均匀性较好，而且它具有]，通常在 0.1~1 cm2V-1s-1，但对于 AMLCD 这类电其驱动需求。不过，迁移率的不足，a-Si:H TFT 想 AMOLED 上，却显得乏力。而且 a-Si:H TFT 还存
图 1-3 LGD 自发声电视[50]Fig. 1-3 LGD Crystal Sound OLED[50]面，2018 年年底，由香港永宁控股有限公司总投资 8项目签约仪式在浙江省宁波市鄞州区举行，标志着我 E-Paper 产业化生产线正式落地[51]。面，三星、华为等相继发布了可折叠的柔性手机，如图
【参考文献】：
期刊论文
[1]氧化物薄膜晶体管研究进展[J]. 兰林锋,张鹏,彭俊彪. 物理学报. 2016(12)
[2]金属氧化物薄膜晶体管及其在新型显示中的应用[J]. 曹镛,陶洪,邹建华,徐苗,兰林锋,王磊,彭俊彪. 华南理工大学学报(自然科学版). 2012(10)
博士论文
[1]薄膜晶体管及其在有源矩阵有机发光二极管中的应用[D]. 兰林锋.华南理工大学 2010
本文编号：3118889
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