308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究

发布时间：2021-04-20 23:49

　　为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果,采用实验研究的方法,分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响,并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明,激光剥离能量阈值约为160mJ/cm²,在激光能量密度为180mJ/cm²～190mJ/cm²左右、光斑重叠率为68. 33%时,剥离效果较好;提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。 

【文章来源】：激光技术. 2020,44(01)北大核心CSCD

【文章页数】：8 页

【文章目录】：
引言
1 激光剥离过程中的热力学过程
    1.1 激光作用过程
    1.2 激光作用后过程
2 准分子激光剥离系统简介
3 308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验
    3.1 激光能量密度对剥离效果的影响与结果分析
    3.2 光斑重叠率对剥离效果的影响与结果分析
    3.3 脉冲频率对剥离效果的影响与结果分析
    3.3 衬底温度对剥离效果的影响与结果分析
4 结论



本文编号：3150632