光窗口对SiGe/Si异质结光电晶体管光响应的影响
发布时间:2021-05-19 02:35
分析了不同光窗口位置和不同光窗口面积对SiGe/Si异质结光电晶体管(HPT)光响应特性的影响.光窗口位于发射区时,HPTs吸收路径长,会产生较多的光生载流子,在发射结界面产生较大的发射结光生电压,有利于发射结的电子注入,因此获得较大的集电极输出电流和光增益.当入射光波长为650 nm,集电极电压为2.0 V,光窗口面积为10μm×10μm时,SiGe/SiHPT的光增益最大可以达到9.24.光窗口位于基区时,在较大的入射光功率下,HPTs吸收区的光生载流子密度大,光生空穴发生快速驰豫的可能性增加,一定程度上缓解了空穴迁移率低对器件工作速度的限制,提高了光特征频率.当入射光波长650 nm,集电极电压2.0 V,光窗口面积为10μm×10μm时,SiGe/SiHPT的光特征频率可达16.75 GHz.对于能够获得更高光增益光特征频率优值的发射区光窗口SiGe/SiHPTs,当光窗口面积从3μm×10μm到50μm×10μm逐渐增加时,电子在发射结界面的有效注入面积增加从而光增益逐渐增大;同时发射结和集电结的结电容也随之增大,RC延迟时间增长,光特征频率却逐渐减小.光增益·光特征频率优值...
【文章来源】:光子学报. 2020,49(08)北大核心EICSCD
【文章页数】:10 页
【文章目录】:
0 引言
1 SiGe/Si光电晶体管器件结构
2 光窗口位置对SiGe/Si光电晶体管光响应的影响
2.1 光窗口位置对光增益的影响
2.2 光窗口位置对光特征频率的影响
3 光窗口面积对SiGe/Si光电晶体管光响应的影响
3.1 光窗口面积对光增益的影响
3.2 光窗口面积对光特征频率的影响
4 结论
【参考文献】:
期刊论文
[1]硅基光电子集成器件[J]. 储涛. 光学与光电技术. 2019(04)
[2]SiGe集成电路工艺技术现状及发展趋势[J]. 马羽,王志宽,崔伟. 微电子学. 2018(04)
[3]单载流子传输光敏晶体管小信号等效电路模型的建立与分析[J]. 孙丹,谢红云,刘芮,刘硕,吴佳辉,张万荣. 光子学报. 2017(11)
[4]单载流子传输的双异质结光敏晶体管探测器的研究[J]. 霍文娟,谢红云,梁松,张万荣,江之韵,陈翔,鲁东. 物理学报. 2013(22)
[5]基于硅光子的片上光互连技术研究[J]. 钱磊,吴东,谢向辉. 计算机科学. 2012(05)
[6]异质结光晶体管的研究与进展[J]. 张妹玉,陈朝. 微纳电子技术. 2006(06)
[7]适用于大电流的SiGe基区HBT的电流和频率特性的解析模型[J]. 钱晓州,阮刚. 半导体学报. 1996(11)
本文编号:3194947
【文章来源】:光子学报. 2020,49(08)北大核心EICSCD
【文章页数】:10 页
【文章目录】:
0 引言
1 SiGe/Si光电晶体管器件结构
2 光窗口位置对SiGe/Si光电晶体管光响应的影响
2.1 光窗口位置对光增益的影响
2.2 光窗口位置对光特征频率的影响
3 光窗口面积对SiGe/Si光电晶体管光响应的影响
3.1 光窗口面积对光增益的影响
3.2 光窗口面积对光特征频率的影响
4 结论
【参考文献】:
期刊论文
[1]硅基光电子集成器件[J]. 储涛. 光学与光电技术. 2019(04)
[2]SiGe集成电路工艺技术现状及发展趋势[J]. 马羽,王志宽,崔伟. 微电子学. 2018(04)
[3]单载流子传输光敏晶体管小信号等效电路模型的建立与分析[J]. 孙丹,谢红云,刘芮,刘硕,吴佳辉,张万荣. 光子学报. 2017(11)
[4]单载流子传输的双异质结光敏晶体管探测器的研究[J]. 霍文娟,谢红云,梁松,张万荣,江之韵,陈翔,鲁东. 物理学报. 2013(22)
[5]基于硅光子的片上光互连技术研究[J]. 钱磊,吴东,谢向辉. 计算机科学. 2012(05)
[6]异质结光晶体管的研究与进展[J]. 张妹玉,陈朝. 微纳电子技术. 2006(06)
[7]适用于大电流的SiGe基区HBT的电流和频率特性的解析模型[J]. 钱晓州,阮刚. 半导体学报. 1996(11)
本文编号:3194947
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